[發明專利]一種精密蝕刻裝置及其蝕刻噴淋架

有效

• 申請號: 202010335935.0
• 申請日: 2020-04-25
• 公開（公告）號: CN111447751B
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 任春花;任春杰;白勝輝
• 申請（專利權）人: 深圳市科路迪機械設備有限公司
• 主分類號: H05K3/06
• 分類號: H05K3/06;C23F1/08
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 諸炳彬

1.一種精密蝕刻裝置，包括機體(8)以及蝕刻噴淋架(9)，其特征是：所述蝕刻噴淋架(9)包括架體(1)以及設置在架體(1)上的噴嘴(2)，所述噴嘴(2)的噴淋區傾斜于架體(1)的寬度或長度方向，所述噴嘴(2)間隔縱橫排布，相鄰行或列的噴嘴(2)錯位設置，所述機體(8)內設置有用于輸送線路板的輸送輥，所述機體(8)上對應輸送輥處設置有真空吸刀(26)，所述真空吸刀(26)上連接有產生吸力的驅動件，所述機體(8)的底部設置有儲液槽(14)，所述驅動件包括連接至儲液槽(14)內的輸液管(27)，所述輸液管(27)遠離于儲液槽(14)的一端連接有循環水泵(31)，所述循環水泵(31)的進水口連通至儲液槽(14)，所述輸液管(27)上連接有與真空吸刀(26)連接的分管(28)，所述輸液管(27)豎向設置且其位于儲液槽(14)內的端部連接有水平管(32)，水平管(32)上設置有與輸液管(27)轉動連接的連接套(34)，輸液管(27)內固定設置有葉輪(33)，葉輪(33)的中心延伸有軸體(35)，軸體(35)延伸至與連接套(34)固定。

2.根據權利要求1所述的精密蝕刻裝置，其特征在于：所述輸液管(27)對應分管(28)處設置有流通截面縮小的增速部。

3.根據權利要求1所述的精密蝕刻裝置，其特征在于：所述蝕刻噴淋架(9)的進水總口處連接有通水管(15)，所述通水管(15)上連接有抽水泵，所述抽水泵的進水口設置有連通至儲液槽(14)內的連接管，所述抽水泵的進水口和出水口均設置有第一過濾器，所述通水管(15)上設置有第二過濾器(16)，所述儲液槽(14)的頂部設置有過濾網床(17)。