[發明專利]一種酸性蝕刻銅回收系統回收氯氣的裝置在審
| 申請號: | 202010334297.0 | 申請日: | 2020-04-24 |
| 公開(公告)號: | CN111394725A | 公開(公告)日: | 2020-07-10 |
| 發明(設計)人: | 張建軍;何國雄;陳清華;詹毅 | 申請(專利權)人: | 深圳市京中康科技有限公司 |
| 主分類號: | C23F1/18 | 分類號: | C23F1/18;C23F1/46;C23F1/08;C25B1/26 |
| 代理公司: | 廣東有知貓知識產權代理有限公司 44681 | 代理人: | 朱親林 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市寶*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 酸性 蝕刻 回收 系統 氯氣 裝置 | ||
1.一種酸性蝕刻銅回收系統回收氯氣的裝置,包括廢液槽罐(100)、電解槽(101)、蝕刻機(109)、藥水槽(107)和氣液混合循環機構(106),其特征在于,所述蝕刻機(109)與藥水槽(107)為供應一體結構,所述蝕刻機(109)設置于所述蝕刻生產線起始端一側并與蝕刻生產線產生供料工作連接,所述廢液槽罐(100)設置于蝕刻生產線末尾端并儲存使用后的蝕刻液,所述電解槽(101)設置于所述廢液槽罐(100)一側并回收罐內的蝕刻液,且所述電解槽(101)通過輸氣管一(103)連接有氯氣供應設備(104);
所述氣液混合循環機構(106)包括有藥水循環泵(1061),所述藥水循環泵(1061)出水端設置有射流器(1062),所述藥水槽(107)、藥水循環泵(1061)和射流器(1062)均通過循環管(108)構成循環閉合連接,且所述射流器(1062)通過輸氣管二(105)與所述氯氣供應設備(104)相連接。
2.根據權利要求1所述的一種酸性蝕刻銅回收系統回收氯氣的裝置,其特征在于,所述循環管(108)靠近藥水槽(107)出水端管體上安裝有液體限流閥(1081),且所述循環管(108)靠近藥水槽(107)進水端管體上安裝有卸壓閥(1082)。
3.根據權利要求1所述的一種酸性蝕刻銅回收系統回收氯氣的裝置,其特征在于,所述蝕刻機(109)一側設置有抽風機構(110),該抽風機構(110)包含抽風機,該抽風機通過風管與所述藥水槽(107)頂部相連接。
4.根據權利要求1所述的一種酸性蝕刻銅回收系統回收氯氣的裝置,其特征在于,所述輸氣管一(103)上安裝有軸流風機(102),所述軸流風機(102)沿電解槽(101)至氯氣供應設備(104)的方向導流。
5.根據權利要求1所述的一種酸性蝕刻銅回收系統回收氯氣的裝置,其特征在于,所述輸氣管二(105)上安裝有單向閥(1051),所述單向閥(1051)為氣體止回閥。
6.根據權利要求5所述的一種酸性蝕刻銅回收系統回收氯氣的裝置,其特征在于,所述輸氣管二(105)位于所述氯氣供應設備(104)和單向閥(1051)之間的管體上連接有溢流管(111),所述溢流管(111)遠離所述輸氣管二(105)一端連接有氯氣臨時儲存箱(112)。
7.根據權利要求6所述的一種酸性蝕刻銅回收系統回收氯氣的裝置,其特征在于,所述溢流管(111)上安裝有截止閥(1111),所述截止閥(1111)為手自一體式。
8.根據權利要求1所述的一種酸性蝕刻銅回收系統回收氯氣的裝置,其特征在于,所述循環管(108)外壁上設有耐熱保溫材料層。
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