[發明專利]一種電動靶驅動組件及透射式X射線管

有效

• 申請號: 202010330824.0
• 申請日: 2020-04-22
• 公開（公告）號: CN111564351B
• 公開（公告）日: 2023-03-31
• 發明（設計）人: 鄭磊;何張強;陳迪志;張臘梅;李旺;徐龍泉;李俊英;王鵬;盛文軍;劉華榮;張根烜;孫龍
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第三十八研究所
• 主分類號: H01J35/28
• 分類號: H01J35/28;H01J35/08;H01J35/18
• 代理公司: 合肥昊晟德專利代理事務所(普通合伙) 34153
• 代理人: 王林

本發明公開一種電動靶驅動組件及透射式X射線管，包括射線源外殼、波紋管、靶座、窗口靶、導向組件和滾動組件；靶座的上部氣密性連接窗口靶，靶座的下部氣密性連接波紋管的上部，波紋管下部氣密性連接在射線源外殼上；滾動組件與波紋管的上下兩端面連接，導向組件與靶座連接；本發明通過滾動組件、導向組件構成滾動支撐，支撐真空下靶座所承受的壓力，保證靶座的位置穩定；同時在導向組件、驅動組件構成兩維位移機構，實現窗口靶兩維微位移的精確控制，避免窗口靶使用一段時間后，靶出現衰退的情況，可以通過對波紋管的折彎，實現電子束在透射窗上轟擊位置的移動，從而使X射線可以連續產生。

技術領域

本發明涉及X射線成像技術領域，具體涉及一種電動靶驅動組件及透射式X射線管。

背景技術

X射線源是X射線成像系統的核心部件，廣泛應用于電子封裝檢測、醫療成像等領域，其基本原理是利用射線源內部場致發射或熱電子發射產生的高能電子束，轟擊鍍鎢金剛石片制成的窗口靶產生X射線，產生的X射線透過窗口靶向外輻射。由于金剛石窗口的鎢層長期受到高能電子束轟擊，會造成鍍層點蝕，從而喪失靶功能。為了保證射線源能長期穩定工作，需要定期轉移電子束在靶上的聚焦點，避免電子束在某一靶點連續轟擊。

在使用過程中，高能電子束轟擊需在真空環境下進行，而常規的設備難以在真空環境下實現靶材的位移，部分可實現靶材真空環境下位移的設備其調節時間過長同時精度不高。

鑒于上述缺陷，本發明創作者經過長時間的研究和實踐終于獲得了本發明。

發明內容

為解決上述技術缺陷，本發明采用的技術方案在于，提供一種電動靶驅動組件，包括射線源外殼、波紋管、靶座、窗口靶、導向組件和滾動組件；所述靶座的上部氣密性連接所述窗口靶，所述靶座的下部氣密性連接所述波紋管的上部，所述波紋管下部氣密性連接在所述射線源外殼上；所述滾動組件與所述波紋管的上下兩端面連接，所述導向組件與所述靶座連接。

較佳的，所述波紋管的下端面設置有第一環形法蘭，上端面設置有第二環形法蘭；所述第二環形法蘭和所述靶座固定連接，所述第一環形法蘭固定設置在所述射線源外殼上。

較佳的，所述導向組件包括第一安裝板、第一微型導軌、運動塊、第二微型導軌、第二安裝板，所述第一安裝板固定設置在所述第一環形法蘭上，所述第二安裝板設置在所述第二環形法蘭上，所述第一微型導軌固定設置在所述第一安裝板上，所述第二微型導軌固定設置在所述第二安裝板上，所述運動塊與所述第一微型導軌、所述第二微型導軌均活動連接，且所述運動塊可沿所述第一微型導軌、所述第二微型導軌自由滑動。

較佳的，所述第一微型導軌與所述第二微型導軌不平行設置。

較佳的，所述導向組件上設置有驅動組件，所述驅動組件包括第一制動件、第二制動件；所述第一制動件固定設置在所述第一安裝板上，所述第一制動件的驅動軸和所述運動塊連接，驅動方向與所述第一微型導軌的延伸方向一致；所述第二制動件與固定設置在所述第二安裝板上，所述第二制動件的驅動軸和所述運動塊連接，驅動方向與所述第二微型導軌的延伸方向一致。

較佳的，所述滾動組件包括萬向球、球座和滾動板；所述萬向球設置在所述球座上，所述滾動板和所述球座分別設置在所述第一環形法蘭和所述第二環形法蘭上，所述萬向球可在所述球座內自由轉動；所述萬向球和所述滾動板端面接觸設置且可在所述滾動板端面上自由滾動。

較佳的，所述導向組件和所述滾動組件的總量不少于3個，且所述導向組件和所述滾動組件的數量均不少于1個。

較佳的，所述滾動組件和所述導向組件在所述第二環形法蘭和所述第一環形法蘭上圓周均布。

較佳的，所述滾動組件在在所述第二環形法蘭和所述第一環形法蘭上圓周均布，所述導向組件采用步進電機。