[發(fā)明專利]一種生物親和型各向異性磁電阻傳感器及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010328165.7 | 申請日： | 2020-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN111554806B | 公開（公告）日： | 2022-02-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉明;周子堯;張曉慧;胡忠強;李春雷;查茜 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安交通大學(xué) |
| 主分類號： | H01L43/02 | 分類號： | H01L43/02;H01L43/08;H01L43/12;C23C14/04;G01R33/00;G01R33/09 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200 | 代理人： | 賀小停 |
| 地址： | 710049 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 生物 親和 各向異性 磁電 傳感器 及其 制備 方法 | ||
1.一種生物親和型各向異性磁電阻傳感器的制備方法，其特征在于，基于一種生物親和型各向異性磁電阻傳感器，包括基底、鐵磁層和電極，鐵磁層設(shè)置在基底上表面，鐵磁層上表面設(shè)置有電極；基底為絲素蛋白纖維基底；其中鐵磁層薄膜為NiFe、NiCr、CoFe、CoFeB、FeGaB、SmFe或FeCoSiB中的一種；電極為銅電極；
包括以下步驟：
步驟1，制備絲素蛋白纖維基底備用；
步驟2，制備掩膜版；
步驟3，使用步驟2的掩膜版固定步驟1的絲素蛋白纖維基底，然后用制備的絲素蛋白纖維基底制備鐵磁層薄膜；
步驟4，在鐵磁層薄膜上生長電極，形成樣品；
步驟5，對樣品進行最敏感角度和轉(zhuǎn)角測試，得到合格的生物親和型各向異性磁電阻傳感器；
掩膜版由底層、中間層、頂層三個部分組成，底層是60*60*3mm的特制鋁合金薄板；中間層是60*60*0.2mm的定制鋁合金薄板，中間層共有兩個圖樣，一個用來生長鐵磁條，另一個用于生長電極；頂層是厚度為60*60*2mm的鋁合金薄板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生物親和型各向異性磁電阻傳感器的制備方法，其特征在于，步驟1具體為：
1)從蠶繭中提取出絲素蛋白纖維并對其進行提純；
2)將絲素蛋白在1M LiCl/DMSO溶液中進行溶解后與甲基丙烯酸異氰基乙酯在60°C和干燥氮氣環(huán)境下反應(yīng)5小時來制備得到混合物；
3)將上述混合物倒入過量的冷乙醇中，沉淀出具有共軛甲基丙烯酸酯基團的蛋白質(zhì)；
4)使用冷乙醇/丙酮的混合物對蛋白混合物進行洗滌，離心48小時以獲得絲素溶液；
5)轉(zhuǎn)移溶液到塑料容器中，確定溶液深度在4mm，靜置12小時，待溶液凝固后將凝固的絲素薄膜取下，得到絲素基底。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生物親和型各向異性磁電阻傳感器的制備方法，其特征在于，步驟3具體為：將絲素基底裁剪至合適大小并使用氮氣吹凈絲素基底表面后，使用特制的掩膜版將其固定在薄膜生長平臺上；轉(zhuǎn)移進磁控主腔后，用直流磁控濺射法在8.5x10-8Torr的真空度條件下，生長出鐵磁薄膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生物親和型各向異性磁電阻傳感器的制備方法，其特征在于，步驟4具體為：使用真空磁控濺射在8.5x10-8Torr的真空度條件下，在鐵磁薄膜上生長出Cu電極。
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