[發(fā)明專利]一種激光焦面與加工基準的快速找準方法及找準系統(tǒng)

有效

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• 申請日: 2020-04-23
• 公開（公告）號: CN111408835B
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李明;李晨晨
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機械研究所
• 主分類號: B23K26/046
• 分類號: B23K26/046;B23K26/06
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 鄭麗紅

1.一種激光焦面與加工基準的快速找準方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一、在激光加工系統(tǒng)中設(shè)置共軸視覺觀測單元，且共軸視覺觀測單元的視場中心與激光加工頭的軸線重合，所述共軸視覺觀測單元包括圖像采集相機和鏡筒透鏡；

步驟二、在激光加工面上放置一找準基板；

步驟三、調(diào)節(jié)鏡筒透鏡的位置，使共軸視覺觀測單元的焦面與找準基板的上表面重合；

步驟四、激光器工作，發(fā)出激光束，激光束通過激光旋轉(zhuǎn)模塊增大激光損傷效果，并通過聚焦鏡在找準基板上形成激光損傷斑點；

步驟五、調(diào)低激光器的激光功率，直至激光損傷斑點的有效焦深降低至微米級；

步驟六、調(diào)整聚焦鏡的位置，直至找準基板上能夠觀測到清晰的激光損傷斑點，激光焦點找準完成，固定聚焦鏡與找準基板的位置；

步驟七、共軸視覺觀測單元對找準基板進行觀測，判斷是否以清晰的成像面觀測到激光損傷斑點；若不是，再次調(diào)節(jié)鏡筒透鏡的位置，直至共軸視覺觀測單元以清晰的成像面識別到激光損傷斑點；此時，激光焦面、找準基板的上表面和共軸視覺觀測單元的焦面重合；

步驟八、激光加工時，通過步驟七獲取的共軸視覺觀測單元的焦面來確定下次激光加工的激光焦面，保證多次加工的基準面一致。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光焦面與加工基準的快速找準方法，其特征在于：步驟二中，所述找準基板的上表面鍍有20-60微米銅膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光焦面與加工基準的快速找準方法，其特征在于：步驟六中，通過機床軸調(diào)整聚焦鏡的位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光焦面與加工基準的快速找準方法，其特征在于：步驟一中，所述圖像采集相機為CCD相機。