[發(fā)明專利]基于多基板二次拼接的長線列探測(cè)器拼接結(jié)構(gòu)及實(shí)現(xiàn)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010324681.2
• 申請(qǐng)日: 2020-04-23
• 公開（公告）號(hào): CN111710749B
• 公開（公告）日: 2022-09-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王小坤;李俊;陳俊林;孫聞;曾智江;李雪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
• 主分類號(hào): H01L31/09
• 分類號(hào): H01L31/09;H01L31/18;H01L25/00;H01L27/14
• 代理公司: 上海滬慧律師事務(wù)所 31311
• 代理人: 郭英

1.一種基于多基板二次拼接的長線列探測(cè)器拼接結(jié)構(gòu)，包括線列紅外探測(cè)器芯片(1)、Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)、共用大基板(3)、Z向調(diào)節(jié)螺釘(4)、Y向調(diào)節(jié)螺釘(5)和X向調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)(6)，其特征在于：

所述的線列紅外探測(cè)器芯片(1)包括探測(cè)器(101)、電極基板(102)和“十”字標(biāo)記(103)，Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)上拼接有2的倍數(shù)的探測(cè)器(101)，在Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)的兩側(cè)預(yù)留光孔(201)，將若干個(gè)Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)依次首尾相連安裝在共用大基板(3)上，Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)通過螺釘將光孔(201)和共用大基板(3)上的螺孔(301)固定在一起。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多基板二次拼接的長線列探測(cè)器拼接結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的X向調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)(6)包括X向調(diào)節(jié)固定塊(601)、X向調(diào)節(jié)副動(dòng)塊(602)和X向調(diào)節(jié)螺釘(603)；通過螺釘(604)將X向調(diào)節(jié)固定塊(601)和X向調(diào)節(jié)副動(dòng)塊(602)分別固定在相連的兩塊Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)上；通過螺絲刀旋轉(zhuǎn)X向調(diào)節(jié)螺釘(603)，使得X向調(diào)節(jié)螺釘(603)與X向調(diào)節(jié)副動(dòng)塊(602)發(fā)生位置變化，由于X向調(diào)節(jié)副動(dòng)塊(602)固定在Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)上，實(shí)現(xiàn)兩個(gè)相連的Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)在X向發(fā)生位置變化。

3.一種基于多基板二次拼接的長線列探測(cè)器拼接結(jié)構(gòu)的實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于方法如下：

借助帶有帶激光測(cè)距功能的影像測(cè)試儀，以呈品字型的兩排線列紅外探測(cè)器芯片(1)上預(yù)留有“十”字標(biāo)記(103)為數(shù)據(jù)采集點(diǎn)，先借助Z向調(diào)節(jié)螺釘(4)將Z字形探測(cè)器基板調(diào)整到共面，再用Y向調(diào)節(jié)螺釘(5)和X向調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)(6)來調(diào)節(jié)確保各Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)之間的相對(duì)位置關(guān)系；Y或X向調(diào)節(jié)步驟中的調(diào)節(jié)步驟為：

1)選取起始Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)；

2)從起始Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)向左開始數(shù)，第一個(gè)Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)先進(jìn)行Y向調(diào)節(jié)或X向調(diào)節(jié)；

3)從起始Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)向左開始數(shù)，第二個(gè)Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)先進(jìn)行Y向調(diào)節(jié)或X向調(diào)節(jié)；

4)從起始Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)向左開始數(shù)，第三個(gè)Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)先進(jìn)行Y向調(diào)節(jié)或X向調(diào)節(jié)；依次類推，將起始Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)向左數(shù)的所有Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)的Y向或X向位置關(guān)系通過Y向調(diào)節(jié)或X向調(diào)節(jié)到所需要的位置；

5)從起始Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)向右數(shù)的Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)的Y向或X向調(diào)節(jié)步驟，這樣就完成所有Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)的Y向或X向位置調(diào)節(jié)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于多基板二次拼接的長線列探測(cè)器拼接結(jié)構(gòu)的實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于：

步驟1)中所述的選取起始Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)的方法為：如果Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)的數(shù)量N為奇數(shù)時(shí)，選取最中間的Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)為起始基板；如果Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)的數(shù)量N為偶數(shù)時(shí)，選取從左往右，第N/2個(gè)Z字形探測(cè)器拼接子基板(2)為起始基板。