[發明專利]一種基于微腔諧振選頻的高性能窄帶紅外探測器

在審

• 申請號: 202010324657.9
• 申請日: 2020-04-23
• 公開（公告）號: CN111584671A
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 甄紅樓;聶曉飛;陸衛;尹伊哲;周孝好
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: H01L31/101
• 分類號: H01L31/101;H01L31/0236;H01L31/0352
• 代理公司: 上海滬慧律師事務所 31311
• 代理人: 郭英

1.一種基于微腔諧振選頻的高性能窄帶紅外探測器，包括低吸收紅外探測器材料，絕緣介質和金屬薄膜，其特征在于：

所述探測器的像元通過在低吸收紅外探測器材料上制備的臺面結構形成，而探測器像元的臺面表面依次包覆有絕緣介質和金屬薄膜，最后用絕緣介質和金屬薄膜依次包覆探測器臺面，絕緣介質用作表面金屬和探測器材料之間的電學隔離并形成金屬包覆的探測器微腔結構。

2.根據權利要求1所述的一種基于微腔諧振選頻的高性能紅外探測器，其特征在于，所述的低吸收紅外探測器材料包含上、下電極層和吸收層，其中吸收層位于上下電極層之間，上電極層上有光柵結構；探測器材料的結構厚度，包括上、下電極層和吸收層厚度以及組分和摻雜濃度結構參數由探測波長以及諧振腔的諧振模式決定。

3.根據權利要求1所述的一種基于微腔諧振選頻的高性能紅外探測器，其特征在于，所述的探測器的像元結構參數，即上電極層中光柵的寬度，深度，周期以及臺面的長度，寬度以及高度，由材料的吸收波長、吸收系數以及腔的諧振模式共同決定，并最終決定了探測器的響應強度和響應帶寬。