[發明專利]激光打標裝備集塵吸力監測系統

在審

• 申請號: 202010324520.3
• 申請日: 2020-04-23
• 公開（公告）號: CN113551827A
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 王保根;包淦宇
• 申請（專利權）人: 海太半導體（無錫）有限公司
• 主分類號: G01L11/00
• 分類號: G01L11/00;G01L19/08;G01L19/12;B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 無錫市朗高知識產權代理有限公司 32262
• 代理人: 趙華

本發明公開了激光打標裝備集塵吸力監測系統，包括集塵箱和監控儀，所述集塵箱設有第一集塵箱，第二集塵箱，第三集塵箱，第四集塵箱，所述內部第一集塵箱，第二集塵箱，第三集塵箱，第四集塵箱內部分別連接真空感應器，所述監控儀為壓力監控儀，所述監控儀包括第一監控儀，第二監控儀，第三監控儀，第四監控儀，所述第一集塵箱，第二集塵箱，第三集塵箱，第四集塵箱內部的真空感應器分別連接第一監控儀，第二監控儀，第三監控儀，第四監控儀，所述監控儀連接控制系統，此監測系統可根據集塵箱的壓力單位變更測量范圍，測量精確度高，實時監控記錄壓力范圍，監控儀界面操作方便，便于管理，儀器對于超范圍指標報警裝置會報警。

技術領域

本發明屬于半導體激光打標領域，尤其涉及激光打標裝備集塵吸力監測系統。

背景技術

在對半導體內存激光打標時，現有集塵管道流量監測和流量閥值波動警報系統設備上面沒有對應的監測系統，無法判斷集塵部分工作能力，只能在品質異常后人工儀器檢測才能得知集塵能力異常。

發明內容

本發明的目的就是為了克服上述現有技術存在的缺陷而提供激光打標裝備集塵吸力監測系統。

本發明的的目的可以通過以下技術方案來實現：

激光打標裝備集塵吸力監測系統，包括集塵箱和監控儀，所述集塵箱設有第一集塵箱，第二集塵箱，第三集塵箱，第四集塵箱，所述內部第一集塵箱，第二集塵箱，第三集塵箱，第四集塵箱內部分別連接真空感應器，所述監控儀為壓力監控儀，所述監控儀包括第一監控儀，第二監控儀，第三監控儀，第四監控儀，所述第一集塵箱，第二集塵箱，第三集塵箱，第四集塵箱內部的真空感應器分別連接第一監控儀，第二監控儀，第三監控儀，第四監控儀，所述監控儀連接控制系統。

優選的，所述監控儀通過電線連接控制系統。

優選的，所述集塵箱設有管口，所述集塵箱通過管口管道連接真空感應器，所述管口的直徑為10cm。

優選的，所述監控儀連接報警裝置，所述報警裝置連接控制系統。

優選的，所述監控儀設有顯示屏。

本發明的有益效果：

此監測系統可根據集塵箱的壓力單位變更測量范圍，測量精確度高，實時監控記錄壓力范圍，監控儀界面操作方便，便于管理，儀器對于超范圍指標報警裝置會報警。

附圖說明

圖1為激光打標裝備集塵吸力監測系統的結構示意圖。

具體實施方式

結合附圖所示，本發明的技術方案作進一步的描述：

激光打標裝備集塵吸力監測系統，包括集塵箱和監控儀，所述集塵箱設有第一集塵箱，第二集塵箱，第三集塵箱，第四集塵箱，所述內部第一集塵箱，第二集塵箱，第三集塵箱，第四集塵箱內部分別連接真空感應器，所述監控儀為壓力監控儀，所述監控儀包括第一監控儀，第二監控儀，第三監控儀，第四監控儀，所述第一集塵箱，第二集塵箱，第三集塵箱，第四集塵箱內部的真空感應器分別連接第一監控儀，第二監控儀，第三監控儀，第四監控儀，所述監控儀連接控制系統。

本實施例中，優選的，所述監控儀通過電線連接控制系統。

本實施例中，優選的，所述集塵箱設有管口，所述集塵箱通過管口管道連接真空感應器，所述管口的直徑為10cm。

本實施例中，優選的，所述監控儀連接報警裝置，所述報警裝置連接控制系統。

本實施例中，優選的，所述監控儀設有顯示屏。

最后應說明的是：