[發(fā)明專(zhuān)利]一種叉指電極的制備方法及其在光電探測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010324399.4
• 申請(qǐng)日: 2020-04-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111653647A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊國(guó)偉;楊飛;劉璞
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中山大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18;H01L31/0224
• 代理公司: 廣東翰銳律師事務(wù)所 44442
• 代理人: 胡厚財(cái)

1.一種叉指電極的制備方法，其特征在于，所述制備方法為：叉指電極基底的表面滴加白碳懸浮液后，干燥得叉指電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述白碳懸浮液的濃度為1～2mg/ml，所述白碳懸浮液的滴加量為0.2～0.4ml/cm²。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，所述叉指電極基底為硅-二氧化硅基底，所述硅-二氧化硅基底需經(jīng)預(yù)處理純化后再進(jìn)行滴加步驟。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述預(yù)處理的方法為所述硅-二氧化硅基底使用甲苯、丙酮、無(wú)水乙醇以及蒸餾水中的任意一種或多種溶劑超聲清洗后，真空干燥。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述超聲清洗的時(shí)間為5～10min/次，所述超聲清洗的次數(shù)為3～5次。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，所述白碳懸浮液的制備方法為：

S1、靶材浸泡于無(wú)水乙醇中，在保護(hù)氣氛中，激光光束依次經(jīng)全反射透鏡和聚焦透鏡后聚焦在靶材表面進(jìn)行脈沖激光熔蝕反應(yīng)；

S2、所述脈沖激光熔蝕反應(yīng)結(jié)束后，將反應(yīng)體系的溶液滴于襯底上，蒸干溶劑得白碳；

S3、所述白碳與去離子水混合，得白碳懸浮液。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，S1中，所述靶材為金靶材，所述激光光束聚焦后的光斑直徑為0.1cm，所述保護(hù)氣氛為氮?dú)夂?或氬氣，。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，S1中，所述脈沖激光熔蝕反應(yīng)的反應(yīng)時(shí)間為10～30min，所述脈沖激光熔蝕反應(yīng)的激光頻率為1～10Hz，所述脈沖激光熔蝕反應(yīng)的單脈沖能量為100～800mJ。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，S2中，所述襯底為硅片或玻璃片。

10.一種包括權(quán)利要求1至9任意一項(xiàng)所述的制備方法得到的叉指電極在光電探測(cè)領(lǐng)域中的應(yīng)用。