[發明專利]激光束均化器及包括其的激光熱處理裝置

在審

• 申請號: 202010324022.9
• 申請日: 2020-04-22
• 公開（公告）號: CN112305773A
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 埃米爾·阿斯拉諾夫;亞歷山大·沃羅諾夫;樸喆鎬;韓圭完
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: G02B27/28
• 分類號: G02B27/28;G02B27/09;C23C14/58;H01L29/66
• 代理公司: 北京鉦霖知識產權代理有限公司 11722
• 代理人: 李英艷;玉昌峰

公開了激光束均化器及包括其的激光熱處理裝置，激光束均化器包括：分離部，將輸入的激光束的光成分以彼此不同角度折射并分割；以及補償部，補償分離的所述光成分引起的發散，所述分離部及所述補償部分別包括具有雙折射性的楔角棱鏡的對，并構成為滿足下式1，[式1]：在式1中，t是所述分離部與所述補償部之間的距離，c是(正常折射率?異常折射率)tanα，α是所述楔角棱鏡的頂角，Λ是對應于所述激光束的噪音的空間頻率的空間周期。

技術領域

本公開涉及一種激光束均化器，更詳細地，涉及一種利用雙折射棱鏡的激光束均化器及包括其的激光熱處理裝置。

背景技術

一般而言，液晶顯示裝置、有機發光顯示裝置等之類的顯示裝置的像素陣列通過薄膜晶體管驅動。例如，所述薄膜晶體管的溝道可以包括多晶硅。

多晶硅可以通過將非晶硅進行利用激光等的熱處理來得到，為了得到高品質的多晶硅薄膜，照射的激光均勻度重要。

為了提高激光的均勻度并形成線圖像，使用激光束均化器，并且正在開發用于對散斑(speckle)等之類的干涉效果引起的高頻噪音進行過濾的技術。

發明內容

本公開的一目的在于提供一種改善激光束的均勻度并能夠過濾高頻噪音的激光束均化器。

本公開的其它目的在于提供一種包括所述激光束均化器的激光熱處理裝置。

為了達到前述的本公開的目的，根據本公開的例示性實施例的激光束均化器包括：分離部，將輸入的激光束的光成分以彼此不同角度折射并分割；以及補償部，補償分離的所述光成分引起的發散，所述分離部及所述補償部分別包括具有雙折射性的楔角棱鏡的對，并構成為滿足下式1，

[式1]

在式1中，t是所述分離部與所述補償部之間的距離，c是(正常折射率-異常折射率)tanα，α是所述楔角棱鏡的頂角，Λ是對應于所述激光束的噪音的空間頻率的空間周期。

根據一實施例，分離的所述光成分包括s偏振光成分及p偏振光成分。

根據一實施例，所述激光束是包括從由準分子激光束、YAG激光束、玻璃激光束、YVO₄激光束及Ar激光束構成的群中選擇的至少一個。

根據一實施例，所述激光束包括準分子激光束。

根據一實施例，所述楔角棱鏡包含從由氟化鎂(MgF₂)、氟化鈣(CaF₂)、氟化鋇(BaF₂)及氟化鋰(LiF)構成的群中選擇的至少一個。

根據一實施例，所述楔角棱鏡包含氟化鎂(MgF₂)。

根據一實施例，所述空間頻率的空間周期(Λ)是1mm至5mm。

根據一實施例，所述分離部與所述補償部之間的距離(t)是20mm至200mm，所述楔角棱鏡的頂角(α)是5度至45度。

根據一實施例，所述楔角棱鏡具有與所述激光束的行進方向垂直的圓形的截面。

根據一實施例，所述分離部包括：第一楔角棱鏡，具有與所述激光束的行進方向垂直的入射面，并具有相對于所述入射面傾斜的射出面；以及第二楔角棱鏡，具有與所述激光束的行進方向垂直的射出面，并具有相對于所述入射面傾斜且與所述第一楔角棱鏡的射出面重疊的入射面。

根據一實施例，所述補償部包括：第三楔角棱鏡，具有與所述激光束的行進方向垂直的入射面，并具有相對于所述入射面傾斜的射出面；以及第四楔角棱鏡，具有與所述激光束的行進方向垂直的射出面，并具有相對于所述射出面傾斜且與所述第三楔角棱鏡的射出面重疊的入射面。