[發(fā)明專利]一種懸臂梁式MEMS磁傳感器及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010323013.8 | 申請日： | 2020-04-22 |
| 公開（公告）號： | CN111537921B | 公開（公告）日： | 2022-02-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉明;胡忠強(qiáng);周子堯;王志廣;吳金根;程苗苗 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安交通大學(xué) |
| 主分類號： | G01R33/02 | 分類號： | G01R33/02;G01R33/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200 | 代理人： | 賀小停 |
| 地址： | 710049 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 懸臂梁 mems 傳感器 及其 制備 方法 | ||
1.一種懸臂梁式MEMS磁傳感器，其特征在于，包括懸臂梁、聲表面波器件、磁致伸縮薄膜和磁性質(zhì)量塊；聲表面波器件設(shè)在懸臂梁上方，磁性質(zhì)量塊位于懸臂梁的自由端；磁致伸縮薄膜位于聲表面波器件上方；
聲表面波器件包括壓電薄膜和叉指電極；壓電薄膜設(shè)置在懸臂梁上表面，若干叉指電極設(shè)置在壓電薄膜上；
聲表面波器件是單端口或者延遲線結(jié)構(gòu)；單端口或者延遲線結(jié)構(gòu)中設(shè)有反射層；
磁性質(zhì)量塊是Ni、Fe、CoFeB磁性薄膜中的一種；
懸臂梁為硅基懸臂梁；
壓電材料是LiNbO3、LiTaO3、AlN、ZnO薄膜中的一種；
叉指電極材料包括粘附層和電極材料；粘附層是Ta或者Cr；電極材料是Al、Cu、Pt、Au導(dǎo)電薄膜中的一種。
2.一種懸臂梁式MEMS磁傳感器的制備方法，其特征在于，基于權(quán)利要求1所述的一種懸臂梁式MEMS磁傳感器，包括以下步驟：
1)硅基片用乙醇、丙酮、濃硫酸和雙氧水的混合溶液分別洗三次，每次清洗的中間用去離子水超聲洗三次，每次洗30秒，然后烘干備用；
2)在硅基片上沉積壓電薄膜，然后在壓電薄膜上旋涂光刻膠，曝光定義出磁性質(zhì)量塊的圖案；
3)沉積磁性質(zhì)量塊，然后在丙酮中剝離，獲得磁性質(zhì)量塊圖案；
4)旋涂光刻膠，曝光獲得叉指電極圖案，沉積粘附層和電極材料，通過剝離工藝獲得叉指電極；
5)旋涂光刻膠，對準(zhǔn)曝光獲得磁致伸縮薄膜圖案，沉積薄膜，通過剝離工藝獲得磁致伸縮薄膜；
6)在器件背面旋涂光刻膠，曝光獲得懸臂梁圖案；通過濕法或者干法刻蝕硅基片，最后用丙酮去膠，獲得懸臂梁式MEMS磁傳感器。
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