[發(fā)明專利]一種MEMS結(jié)構(gòu)的測量系統(tǒng)

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202010317016.0
• 申請日: 2020-04-21
• 公開（公告）號: CN111405454A
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉端
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽奧飛聲學科技有限公司
• 主分類號: H04R29/00
• 分類號: H04R29/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種MEMS結(jié)構(gòu)的測量系統(tǒng)，用于測量待測MEMS結(jié)構(gòu)的靈敏度，其特征在于，包括：

參考MEMS結(jié)構(gòu)，用于接收激勵信號并發(fā)生振動；

待測MEMS結(jié)構(gòu)，用于接收所述激勵信號并發(fā)生振動；

激光測振儀，用于測量所述參考MEMS結(jié)構(gòu)和所述待測MEMS結(jié)構(gòu)的振膜的振動幅度；

基于所述參考MEMS結(jié)構(gòu)的振動幅度與所述待測MEMS結(jié)構(gòu)的振動幅度的比率，以及所述參考MEMS結(jié)構(gòu)的靈敏度，獲取所述待測MEMS結(jié)構(gòu)的靈敏度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS結(jié)構(gòu)的測量系統(tǒng)，其特征在于，所述測量系統(tǒng)還包括：

信號發(fā)生器，用于生成原始激勵信號；

功率放大器，用于接收并放大所述原始激勵信號并輸出所述激勵信號。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS結(jié)構(gòu)的測量系統(tǒng)，其特征在于，所述參考MEMS結(jié)構(gòu)包括壓電式MEMS麥克風，所述待測MEMS結(jié)構(gòu)與所述參考MEMS結(jié)構(gòu)相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS結(jié)構(gòu)的測量系統(tǒng)，其特征在于，所述原始激勵信號為掃頻脈沖串信號，頻率范圍為100Hz至20kHz。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的MEMS結(jié)構(gòu)的測量系統(tǒng)，其特征在于，所述原始激勵信號為掃頻脈沖串信號，頻率范圍為100Hz至10kHz。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的MEMS結(jié)構(gòu)的測量系統(tǒng)，其特征在于，所述壓電式MEMS麥克風的靈敏度范圍為-70dBV/Pa至-30dBV/Pa。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS結(jié)構(gòu)的測量系統(tǒng)，其特征在于，所述參考MEMS結(jié)構(gòu)的靈敏度通過GB T 9401-1988標準或等同標準測定。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS結(jié)構(gòu)的測量系統(tǒng)，其特征在于，測量所述振膜的所述振動幅度等效于測量所述振膜的位移、速度或加速度。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的MEMS結(jié)構(gòu)的測量系統(tǒng)，其特征在于，測量所述振膜的所述振動幅度等效于測量所述振膜的速度。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS結(jié)構(gòu)的測量系統(tǒng)，其特征在于，所述激光測振儀包括面外、單點、顯微多普勒測振儀。