[發明專利]化學沉積氣體布散結構及其裝置

在審

• 申請號: 202010316844.2
• 申請日: 2020-04-21
• 公開（公告）號: CN111394714A
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 李東一;梁君
• 申請（專利權）人: 重慶臻寶實業有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 重慶為信知識產權代理事務所(普通合伙) 50216
• 代理人: 周云濤

1.一種化學沉積氣體布散結構，包括上下正對設置的導氣板(1)和上部電極(2)，所述導氣板(1)中部具有正對上部電極(2)設置的注氣孔(10)，上部電極(2)上分布有氣孔(20)，其特征在于：所述導氣板(1)和上部電極(2)之間設有呈薄板結構的擴散板(3)，擴散板(3)上分布有上下貫通的擴散孔(30)，所述擴散孔(30)以注氣孔(10)軸線為中心沿周向均勻分布。

2.根據權利要求1所述的化學沉積氣體布散結構，其特征在于：所述擴散板(3)為圓形薄板，擴散孔(30)在擴散板(3)外緣的分布密度大于擴散板(3)中心區域的擴散孔(30)分布密度。

3.根據權利要求1或2所述的化學沉積氣體布散結構，其特征在于：所述擴散板(3)的周向外沿具有均勻分布的螺孔(31)，所述擴散板(3)通過螺栓(32)與導氣板(1)固定連接。

4.根據權利要求1所述的化學沉積氣體布散結構，其特征在于：所述氣孔(20)包括從上至下同軸設置的保壓段(200)、增壓段(201)和釋放段(202)，其中保壓段(200)和增壓段(201)均呈圓柱狀，且保壓段(200)直徑大于增壓段(201)直徑，所述增壓段(201)呈下大上小的圓臺狀結構。

5.根據權利要求4所述的化學沉積氣體布散結構，其特征在于：所述上部電極(2)的厚度為30.3mm-30.7mm，增壓段(201)長度為1.9mm-2.1mm，釋放段(202)的長度為7.8mm-8mm，其中增壓段(201)的直徑為0.4mm-0.42mm，釋放段(202)的底部直徑為6.25mm-6.45mm，保壓段(200)的直徑為4.0mm-4.2mm，所述釋放段(202)的側壁相對于氣孔(20)軸線的斜度為22°-24°。

6.根據權利要求4或5所述的化學沉積氣體布散結構，其特征在于：所述增壓段(201)的直徑沿遠離上部電極(2)中心的方向逐漸增大。

7.根據權利要求1所述的化學沉積氣體布散結構，其特征在于：所述導氣板(1)底部對應注氣孔(10)下端的位置固設有導向板(4)，所述導向板(4)上具有至少兩個導向孔(40)，從導氣板(1)上方進入的氣體，在所述導向孔(40)的作用下，能夠以向外擴散的狀態從導向孔(40)的下端溢出。

8.根據權利要求8所述的化學沉積氣體布散結構，其特征在于：所述導向孔(40)為扇形條孔，并呈下大上小的錐狀，所述導向孔(40)有四個，四個所述導向孔(40)沿導向板(4)的周向均勻分布，所述導向板(4)的中部具有呈錐狀的凸出部(41)。

9.根據權利要求7或8所述的化學沉積氣體布散結構，其特征在于：所述導氣板(1)底部對應導向板(4)的位置具有安裝槽(11)，所述安裝槽(11)與注氣孔(10)貫通，所述導向板(4)通過螺釘固設于該安裝槽(11)內。

10.一種化學沉積裝置，包括工序腔(5)，其特征在于：所述工序腔(5)內上部設有權利要求1-9中所述的氣體布散結構，并通過上部電極(2)將工序腔(5)分隔形成相對獨立的上腔室(50)和下腔室(51)，所述下腔室(51)內具有與上部電極(2)正對設置的下部電極(6)。