[發(fā)明專利]一種氣敏傳感器及其在二氧化氮氣體檢測的應用

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010316080.7
• 申請日: 2020-04-22
• 公開（公告）號: CN111351818B
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發(fā)明（設計）人: 楊國偉;楊飛;劉璞
• 申請（專利權）人: 中山大學
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00
• 代理公司: 廣東翰銳律師事務所 44442
• 代理人: 胡厚財

本發(fā)明屬于傳感器制備技術領域，尤其涉及一種氣敏傳感器及在二氧化氮氣體檢測的應用。本發(fā)明提供了一種氣敏傳感器，所述氣敏傳感器設有表面滴加白碳懸浮液后干燥的叉指電極。本發(fā)明還提供了上述氣敏傳感器在二氧化氮氣體檢測的應用。經(jīng)檢測可得，本發(fā)明提供的技術方案制得的氣敏傳感器，在常溫可見光下，即可對不同濃度的二氧化氮進行檢測，具有響應性好、靈敏度高、響應及恢復時間快、重現(xiàn)性好、選擇性強、抗?jié)裥院玫膬?yōu)點；且制備簡單，生產(chǎn)成本低，綠色環(huán)保，尤其適用于環(huán)境中低濃度二氧化氮的檢測。本發(fā)明提供的一種氣敏傳感器及其在二氧化氮氣體檢測的應用，解決了現(xiàn)有技術中，氣敏傳感器需在高溫或紫外光下才可工作的技術缺陷。

技術領域

本發(fā)明屬于傳感器制備技術領域，尤其涉及一種氣敏傳感器及其在二氧化氮氣體檢測的應用。

背景技術

隨著工業(yè)化的發(fā)展，越來越多有毒有害氣體產(chǎn)生，氣敏傳感器作為探測有毒有害氣體的器件越來越受重視。

現(xiàn)有技術中，氣敏傳感器材料都需要在高溫或者紫外光下工作，而高溫在使用時會存在安全性的問題，紫外光也存在對人體有害的問題，給氣敏傳感器的應用帶來了限制。

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種氣敏傳感器及在二氧化氮氣體檢測的應用，用于解決現(xiàn)有技術中，氣敏傳感器需在高溫或紫外光下才可工作的技術缺陷，成為了本領域技術人員亟待解決的問題。

發(fā)明內容

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種氣敏傳感器及在二氧化氮氣體檢測的應用，用于解決現(xiàn)有技術中，氣敏傳感器需在高溫或紫外光下才可工作的技術缺陷。

本發(fā)明提供了一種氣敏傳感器，所述氣敏傳感器設有表面滴加白碳懸浮液后干燥的叉指電極。

優(yōu)選地，所述白碳懸浮液的濃度為1～2mg/ml，所述白碳懸浮液的滴加量為 0.2～0.4ml/cm²。

優(yōu)選地，所述叉指電極的基底為硅-二氧化硅基底，所述硅-二氧化硅基底需經(jīng)預處理純化后再進行滴加步驟。

優(yōu)選地，所述預處理的方法為所述硅-二氧化硅基底使用甲苯、丙酮、無水乙醇以及蒸餾水中的任意一種或多種溶劑超聲清洗后，真空干燥。

優(yōu)選地，所述超聲清洗的時間為5～10min/次，所述超聲清洗的次數(shù)為3～5 次。

優(yōu)選地，所述白碳懸浮液的制備方法為：

S1、靶材浸泡于無水乙醇中，在保護氣氛中，激光光束依次經(jīng)全反射透鏡和聚焦透鏡后聚焦在靶材表面進行脈沖激光熔蝕反應；

S2、所述脈沖激光熔蝕反應結束后，將反應體系的溶液滴于襯底上，蒸干溶劑得白碳；

S3、所述白碳與去離子水混合，得白碳懸浮液。

優(yōu)選地，S1中，所述靶材為金靶材，所述激光光束聚焦后的光斑直徑為 0.1cm，所述保護氣氛為氮氣和/或氬氣。

優(yōu)選地，S1中，所述脈沖激光熔蝕反應的反應時間為10～30min，所述脈沖激光熔蝕反應的激光頻率為1～10Hz，所述脈沖激光熔蝕反應的單脈沖能量為 100～800mJ。

優(yōu)選地，S2中，所述襯底為硅片或玻璃片。

本發(fā)明還提供了一種包括以上任意一項所述的氣敏傳感器在二氧化氮氣體檢測的應用。