[發明專利]一種可調整式帶無線傳輸的4、6寸拋光壓頭

在審

• 申請號: 202010315976.3
• 申請日: 2020-04-21
• 公開（公告）號: CN111438632A
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發明（設計）人: 寇明虎;劉泳灃;郝元龍
• 申請（專利權）人: 北京特思迪半導體設備有限公司
• 主分類號: B24B37/30
• 分類號: B24B37/30;B24B37/34;B24B37/005
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種可調整式帶無線傳輸的4、6寸拋光壓頭，包括保持架。本發明通過設置保持架、真空壓頭、真空壓頭固定板、中間隔板、滑動套連接板、導向柱、鎖緊型測微頭、支撐桿、陶瓷滑桿座、壓簧、陶瓷滑套組件、壓簧旋鈕、上保持架、砝碼和無線發射盒的配合使用，解決了現有目前市場上有各種各樣的拋光壓頭，而大部分拋光壓頭都是一次裝配成型不可調整的，這樣就會在加工的時候增加很多的不確定性，加工效果不可調整，在進行加工的時候，都需要人直觀的去觀察監視，才能確定已加工的數據的問題，該可調整式帶無線傳輸的、寸拋光壓頭，具備有效的提高加工的精度和效率的優點，值得推廣。

技術領域

本發明屬于半導體加工制造技術領域，尤其涉及一種可調整式帶無線傳輸的4、6寸拋光壓頭。

背景技術

半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用，如二極管就是采用半導體制作的器件，半導體是指一種導電性可受控制，范圍可從絕緣體至導體之間的材料，無論從科技或是經濟發展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的，今日大部分的電子產品，如計算機、移動電話或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關連，常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導體材料中，在商業應用上最具有影響力的一種。

拋光壓頭的型號多樣，但拋光壓頭不能調整加工精度，市場亟需一種可以調整加工精度的拋光壓頭，現有技術存在的問題是：目前市場上有各種各樣的拋光壓頭，而大部分拋光壓頭都是一次裝配成型不可調整的，這樣就會在加工的時候增加很多的不確定性，加工效果不可調整，在進行加工的時候，都需要人直觀的去觀察監視，才能確定已加工的數據，延長該設備調整使用的時間。

發明內容

針對現有技術存在的問題，本發明提供了一種可調整式帶無線傳輸的4、6寸拋光壓頭，具備有效的提高加工的精度和效率的優點，解決了現有目前市場上有各種各樣的拋光壓頭，而大部分拋光壓頭都是一次裝配成型不可調整的，這樣就會在加工的時候增加很多的不確定性，加工效果不可調整，在進行加工的時候，都需要人直觀的去觀察監視，才能確定已加工的數據的問題。

本發明是這樣實現的，一種可調整式帶無線傳輸的、寸拋光壓頭，包括保持架，所述保持架的頂部設置有真空壓頭，所述真空壓頭的頂部設置有真空壓頭固定板，保持架的頂部固定連接有導向柱，所述導向柱的頂部依次貫穿有中間隔板和滑動套連接板，所述滑動套連接板頂部的前側和后側均固定連接有支撐桿，所述滑動套連接板的頂部固定連接有陶瓷滑套組件，所述中間隔板的頂部固定連接有陶瓷滑桿座，所述陶瓷滑桿座的頂部依次貫穿滑動套連接板和陶瓷滑桿座并固定連接有壓簧旋鈕，所述壓簧旋鈕的頂部設置有上保持架，所述支撐桿的頂部穿過上保持架并延伸至上保持架的頂部。

作為本發明優選的，所述真空壓頭、真空壓頭固定板、中間隔板、陶瓷滑桿座和壓簧旋鈕均穿過中間隔板套設在導向柱的表面。

作為本發明優選的，所述陶瓷滑桿座的表面活動連接有壓簧，所述壓簧的頂部與壓簧旋鈕的底部固定連接，所述壓簧的底部與陶瓷滑套組件的頂部固定連接。

作為本發明優選的，所述真空壓頭呈雙層，所述中間隔板的頂部固定連接有與真空壓頭配合使用的鎖緊型測微頭。

作為本發明優選的，所述壓簧旋鈕的頂部設置有砝碼，所述砝碼的數量為多個，且砝碼垂直疊加套設在陶瓷滑套組件的表面。

作為本發明優選的，所述滑動套連接板頂部的右側活動連接有無線發射盒。

與現有技術相比，本發明的有益效果如下：