[發(fā)明專(zhuān)利]半導(dǎo)體器件的耐量測(cè)試裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010315718.5
• 申請(qǐng)日: 2020-04-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111337814B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-02-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙建偉;姜明寶;李強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 吉林華微電子股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/26
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/26
• 代理公司: 成都極刻智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 51310
• 代理人: 唐維虎

本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體器件的耐量測(cè)試裝置及方法，通過(guò)電流沖擊單元按照設(shè)定峰值電流值、設(shè)定電流上升率以及設(shè)定脈沖周期向待測(cè)半導(dǎo)體器件輸入電流沖擊信號(hào)，并通過(guò)測(cè)試單元測(cè)試待測(cè)半導(dǎo)體器件上的電流沖擊信號(hào)、電流沖擊信號(hào)的測(cè)試脈沖次數(shù)以及待測(cè)半導(dǎo)體器件的器件狀態(tài)后，由主控單元根據(jù)待測(cè)半導(dǎo)體器件上的電流沖擊信號(hào)、電流沖擊信號(hào)的測(cè)試脈沖次數(shù)以及待測(cè)半導(dǎo)體器件的器件狀態(tài)生成待測(cè)半導(dǎo)體器件的電流上升率耐量值。如此，能夠?qū)雽?dǎo)體器件的電流上升率耐受能力進(jìn)行有效量化，以便于后續(xù)準(zhǔn)確評(píng)估半導(dǎo)體器件的電流上升率耐受能力，進(jìn)而采取必要手段降低半導(dǎo)體器件的失效比例。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體器件的測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種半導(dǎo)體器件的耐量測(cè)試裝置及方法。

背景技術(shù)

在大功率半導(dǎo)體器件的應(yīng)用過(guò)程中，經(jīng)本申請(qǐng)發(fā)明人研究發(fā)現(xiàn)，由于其電流上升率(di/dt)的耐受能力有限，導(dǎo)致失效比例較高。盡管傳統(tǒng)手段在應(yīng)用電路上都有相關(guān)防護(hù)措施，但要完全杜絕在任何特殊情況下都不出現(xiàn)超高電流上升率的現(xiàn)象是極難的。因此，針對(duì)半導(dǎo)體器件而言，需要在一定范圍內(nèi)具有適當(dāng)?shù)碾娏魃仙誓褪苣芰Α；诖耍绾螌雽?dǎo)體器件的電流上升率耐受能力進(jìn)行有效量化，以便于后續(xù)準(zhǔn)確評(píng)估半導(dǎo)體器件的電流上升率耐受能力，進(jìn)而采取必要手段降低半導(dǎo)體器件的失效比例，是本領(lǐng)域亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述不足，本申請(qǐng)的目的在于提供一種半導(dǎo)體器件的耐量測(cè)試裝置及方法，能夠?qū)雽?dǎo)體器件的電流上升率耐受能力進(jìn)行有效量化，以便于后續(xù)準(zhǔn)確評(píng)估半導(dǎo)體器件的電流上升率耐受能力，進(jìn)而采取必要手段降低半導(dǎo)體器件的失效比例。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)實(shí)施例采用的技術(shù)方案如下：

根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例的第一方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體器件的耐量測(cè)試裝置，與計(jì)算機(jī)設(shè)備通信連接，所述半導(dǎo)體器件的耐量測(cè)試裝置包括：

電流沖擊單元，用于按照設(shè)定峰值電流值、設(shè)定電流上升率以及設(shè)定脈沖周期向待測(cè)半導(dǎo)體器件輸入電流沖擊信號(hào)；

測(cè)試單元，用于測(cè)試所述待測(cè)半導(dǎo)體器件上的電流沖擊信號(hào)、所述電流沖擊信號(hào)的測(cè)試脈沖次數(shù)以及所述待測(cè)半導(dǎo)體器件的器件狀態(tài)；

主控單元，分別與所述電流沖擊單元和所述測(cè)試單元電性連接，并通過(guò)通信單元與所述計(jì)算機(jī)設(shè)備通信連接，用于將所述計(jì)算機(jī)設(shè)備發(fā)送的設(shè)定峰值電流值、設(shè)定電流上升率以及設(shè)定脈沖周期配置到所述電流沖擊單元，并用于根據(jù)所述待測(cè)半導(dǎo)體器件上的電流沖擊信號(hào)、所述電流沖擊信號(hào)的測(cè)試脈沖次數(shù)以及所述待測(cè)半導(dǎo)體器件的器件狀態(tài)生成所述待測(cè)半導(dǎo)體器件的電流上升率耐量值，并將所述電流上升率耐量值通過(guò)所述通信單元發(fā)送給所述計(jì)算機(jī)設(shè)備，其中，所述器件狀態(tài)包括有效狀態(tài)和失效狀態(tài)。

在第一方面的一種可能的實(shí)施方式中，所述電流沖擊單元包括：

峰值電流控制電路，用于向待測(cè)半導(dǎo)體器件輸入所述設(shè)定峰值電流值的電流沖擊信號(hào)；

與所述峰值電流控制電路電性連接的di/dt控制電路，用于根據(jù)所述設(shè)定電流上升率控制所述電流沖擊信號(hào)的電流上升率；

觸發(fā)電流控制電路，用于按照所述設(shè)定脈沖周期控制所述電流沖擊信號(hào)的脈沖觸發(fā)信號(hào)的脈沖周期。

在第一方面的一種可能的實(shí)施方式中，所述觸發(fā)電流控制電路包括：

觸發(fā)電流控制子電路以及與所述觸發(fā)電流控制子電路電性連接的觸發(fā)周期控制子電路，所述觸發(fā)周期控制子電路用于按照所述設(shè)定脈沖周期控制所述觸發(fā)電流控制子電路的電流沖擊信號(hào)的脈沖觸發(fā)信號(hào)的脈沖周期。

在第一方面的一種可能的實(shí)施方式中，所述測(cè)試單元包括：

測(cè)試脈沖計(jì)數(shù)電路，所述測(cè)試脈沖計(jì)數(shù)電路用于測(cè)試所述電流沖擊信號(hào)的測(cè)試脈沖次數(shù)；