[發明專利]芯片雙重定位與調節裝置

在審

• 申請號: 202010315350.2
• 申請日: 2020-04-21
• 公開（公告）號: CN111330862A
• 公開（公告）日: 2020-06-26
• 發明（設計）人: 袁宇鋒;吳華;朱元慶
• 申請（專利權）人: 南通芯盟測試研究院運營管理有限公司
• 主分類號: B07C5/00
• 分類號: B07C5/00;B07C5/34;B07C5/02;G06K9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明的芯片雙重定位與調節裝置，具有控制器、真空吸頭、測試臺、上攝像頭和下攝像頭。上攝像頭拍攝芯片的上表面圖像，傳送給控制器，與其內置的視覺軟件識別圖像判斷芯片的方向是否正確。優選吸頭端面中心設置上攝像頭；下攝像頭設置在測試臺的下方。本發明的上下攝像頭可以同時檢測芯片的上下表面有無問題，這樣獲得的芯片的外觀正品率很高。

技術領域

本發明涉及微電子器件的測試分選機。

背景技術

測試分選機是能根據測量結果將被測件分成合格、正超差、負超差或將合格品再分成若干類，以便選擇裝配的自動化機器。

安工業大學華騰半導體設備有限公司研發的表面貼裝LED全自動編帶機視覺檢測系統研制，介紹了表面貼裝LED全自動編帶機基于數字圖像處理技術的視覺檢測系統研制,探討了采用二值化方法對型號為5050六角正面發光貼片LED進行方向檢測。該檢測方法首先是對采集到計算機中的圖像進行二值化處理,然后是劃定芯片每個邊角的檢測范圍,接下來就是統計每個邊角白色像素或黑色像素的面積,通過對比各個角白色像素或黑色像素的面積偏差找到芯片的缺角位置,最后由缺角位置確定出芯片的方向。給出了檢測結果,并從理論和實踐上證明了該方法的可行性和正確性。

發明內容

發明目的：

提供一種能夠測試元件上表面和下表面、自動分辨圖案的大致以及細微部位正確與否或者其它指標是否合格的芯片雙重定位與調節裝置。

技術方案：

本發明的芯片雙重定位與調節裝置，具有控制器、真空吸頭（一只或多只，能夠抓取芯片并按需要旋轉到合適角度）、測試臺（與真空吸頭數量相同的測試工位，優選測試臺臺面為透明的）、上攝像頭和下攝像頭。

上攝像頭拍攝芯片的上表面圖像，傳送給控制器，與其內置的視覺軟件識別圖像，判斷方向是否正確，控制器控制吸頭抓取芯片的同時控制芯片的旋轉合適的角度，并可判斷上表面圖像有無缺陷；如有缺陷移除，如沒有缺陷，轉移到后續工位，

優選吸頭端面中心設置有上攝像頭，上攝像頭周圍是抽真空的管路，這樣能夠拍到完整的芯片俯視圖，而且流動的氣流可以冷卻攝像頭，避免發熱，流動的氣流形成負壓攝像頭不易吸附灰塵，吸附后也容易被抽吸帶走，拍攝的圖像位置端正，圖像清晰度高質量好。

下攝像頭設置在測試臺的下方，方向朝上，可以拍攝芯片的下表面的圖形，傳送給控制器，與其內置的視覺軟件識別圖像，判斷判斷芯片的下表面圖像有無缺陷；如有缺陷，控制器指令吸頭移除芯片，如沒有缺陷，轉移到后續工位。

下攝像頭能夠拍下表面的圖案，傳送給內置的視覺軟件識別圖像，判斷方向是否正確完全正確，如不精確，控制器控制真空吸頭抓取、旋轉微調。

有益效果：

本發明的上下攝像頭可以檢測芯片的上下表面有無問題，這樣獲得的芯片的外觀正頻率有很大的提高，比傳統的單面鏡頭攝像判別更可靠。

附圖說明

圖1時本發明的一種結構示意圖；

圖中1控制器、2-真空泵、3真空吸頭、、4-芯片、5-測試臺、6-上攝像頭（攝像頭A）、7-下攝像頭（攝像頭B）。

具體實施方式

如圖1所示的芯片雙重定位與調節裝置，具有控制器、真空吸頭、上攝像頭、與真空吸頭數量相同的測試臺，上攝像頭位于測試臺的上方的真空吸頭內部，控制器與上攝像頭連接，控制器中具有視覺識別軟件，能采集上攝像頭攝取的芯片上表面的圖像信號，依靠視覺識別軟件判斷芯片的放置方向，并由此通過控制器控制真空吸頭旋轉，使得芯片的放置方向正確。

測試臺臺面為透明的、下方具有朝上設置的下攝像頭，控制器與下攝像頭連接，能夠攝取芯片下表面的圖像，并判斷圖像是否符合要求。