[發明專利]濾波器、體聲波諧振器組件及其制造方法、電子設備

有效

• 申請號: 202010314867.X
• 申請日: 2020-04-21
• 公開（公告）號: CN111600566B
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 徐洋;龐慰;郝龍
• 申請（專利權）人: 諾思（天津）微系統有限責任公司
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H3/04;H03H9/02;H03H9/17
• 代理公司: 北京金誠同達律師事務所 11651
• 代理人: 湯雄軍

1.一種濾波器，包括：

多個串聯諧振器；以及

多個并聯諧振器，

其中：

每一個諧振器包括基底、聲學鏡、底電極、頂電極和壓電層；

至少一個串聯諧振器的頂電極以及至少一個并聯諧振器的頂電極在頂電極連接端和非頂電極連接端均具有或設置有抬高部，所述抬高部的頂面高出頂電極的內側部分的頂面；

具有所述抬高部的諧振器包括導電層，所述導電層與具有所述抬高部的諧振器的頂電極和底電極中的對應電極在諧振器的厚度方向上接觸，所述導電層使得所述抬高部高出頂電極的內側部分的頂面；

所述至少一個串聯諧振器的導電層的厚度大于所述至少一個并聯諧振器的導電層的厚度。

2.根據權利要求1所述的濾波器，其中：

具有抬高部的并聯諧振器的導電層的厚度小于與其接觸的電極的厚度。

3.根據權利要求2所述的濾波器，其中：

具有抬高部的串聯諧振器的導電層的厚度大于與其接觸的電極的厚度；或者

具有抬高部的串聯諧振器的導電層的厚度和與其接觸的電極的厚度之和不小于

4.根據權利要求3所述的濾波器，其中：

具有抬高部的諧振器的導電層設置在壓電層的上表面與頂電極的下表面之間。

5.根據權利要求4所述的濾波器，其中：

具有抬高部的諧振器的頂電極設置有導電的質量負載層，導電層與頂電極接觸，所述頂電極的厚度為頂電極的厚度與質量負載層的厚度之和。

6.根據權利要求3所述的濾波器，其中：

具有抬高部的諧振器的導電層設置在壓電層的下方而與底電極接觸。

7.根據權利要求1所述的濾波器，其中：

所述內側部分為具有多條邊的凸多邊形區域，所述抬高部圍繞所述凸多邊形區域設置而形成多邊形的電極框，所述電極框包括多個框邊。

8.根據權利要求7所述的濾波器，其中：

所述電極框的邊框在聲學鏡內存在橫向寬度變化。

9.根據權利要求8所述的濾波器，其中：

所述電極框的至少一條框邊在聲學鏡內的橫向寬度不同于其至少一條其余框邊在聲學鏡內的橫向寬度。

10.根據權利要求1所述的濾波器，其中：

相鄰諧振器的導電層為同層布置的導電層。

11.根據權利要求1-10中任一項所述的濾波器，其中：

所述濾波器的至少兩個相鄰的諧振器均為具有抬高部的諧振器。

12.根據權利要求11所述的濾波器，其中：

所述濾波器包括頂電極相連的相鄰的并聯諧振器和串聯諧振器，且該相鄰的并聯諧振器和串聯諧振器的導電層設置在頂電極與壓電層之間；或者

所述濾波器包括頂電極相連的相鄰的并聯諧振器和串聯諧振器，且該相鄰的并聯諧振器和串聯諧振器的導電層設置在頂電極的上表面，所述導電層形成所述抬高部。

13.根據權利要求11所述的濾波器，其中：

所述濾波器包括頂電極相連的相鄰的串聯諧振器，且該相鄰的串聯諧振器的導電層設置在頂電極與壓電層之間；或者

所述濾波器包括頂電極相連的相鄰的串聯諧振器，且該相鄰的串聯諧振器的導電層設置在頂電極的上表面，所述導電層形成所述抬高部。

14.根據權利要求11所述的濾波器，其中：

所述濾波器包括底電極相連的相鄰的串聯諧振器，且該相鄰的串聯諧振器的導電層在壓電層下方而與底電極接觸；或者

所述諧振器包括底電極相連的相鄰的串聯諧振器與并聯諧振器，且該相鄰的串聯諧振器和并聯諧振器的導電層在壓電層下方而與底電極接觸。