[發(fā)明專利]數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)的測(cè)量精度確定方法及裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010314839.8
• 申請(qǐng)日: 2020-04-20
• 公開（公告）號(hào): CN111457855A
• 公開（公告）日: 2020-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳思進(jìn);吳凡;李偉仙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京信息科技大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/16
• 分類號(hào): G01B11/16
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)的測(cè)量精度確定方法，其特征在于，包括：

采用激光雙頻干涉儀監(jiān)控物面繞偏擺軸執(zhí)行多次偏擺，其中，所述物面繞所述偏擺軸每次偏擺的角度為第一預(yù)設(shè)角度；

采用數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)測(cè)量所述物面中的目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)每次偏擺對(duì)應(yīng)的第一面外形變；

根據(jù)所述第一預(yù)設(shè)角度和所述目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)每次偏擺對(duì)應(yīng)的第一面外形變，確定所述數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)的面外形變測(cè)量精度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述第一預(yù)設(shè)角度和所述目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)每次偏擺對(duì)應(yīng)的第一面外形變，確定所述數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)的面外形變測(cè)量精度，包括：

根據(jù)所述第一預(yù)設(shè)角度，確定所述目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)的第二面外形變；

根據(jù)所述第二面外形變和所述目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)每次偏擺對(duì)應(yīng)的第一面外形變之間的差異，確定所述數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)的面外形變測(cè)量精度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述第一預(yù)設(shè)角度，確定所述目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)的第二面外形變，包括：

通過下述公式確定所述第二面外形變：

Δω＝Δθ·Δx；

其中，Δω為所述第二面外形變，Δθ為所述第一預(yù)設(shè)角度，Δx為所述目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)到所述偏擺軸的距離。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述采用數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)測(cè)量所述物面中的目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)每次偏擺對(duì)應(yīng)的第一面外形變，包括：

針對(duì)任一次偏擺，采用所述數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)確定本次偏擺所引起的物面相位變化；

根據(jù)所述物面相位變化，確定所述目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)本次偏擺對(duì)應(yīng)的第一面外形變。

5.一種數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)的測(cè)量精度確定方法，其特征在于，包括：

采用激光雙頻干涉儀監(jiān)控物面繞滾轉(zhuǎn)軸執(zhí)行多次滾轉(zhuǎn)，其中，所述物面繞所述滾轉(zhuǎn)軸每次滾轉(zhuǎn)的角度為第二預(yù)設(shè)角度；

采用數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)測(cè)量所述物面中的第一目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)和第二目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)每次滾轉(zhuǎn)對(duì)應(yīng)的第一面內(nèi)形變差，其中，所述第一目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)和所述第二目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)相對(duì)于所述滾轉(zhuǎn)軸對(duì)稱分布；

根據(jù)所述第二預(yù)設(shè)角度，以及所述第一目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)和所述第二目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)每次滾轉(zhuǎn)對(duì)應(yīng)的第一面內(nèi)形變差，確定所述數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)的面內(nèi)形變測(cè)量精度。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述第二預(yù)設(shè)角度，以及所述第一目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)和所述第二目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)每次滾轉(zhuǎn)對(duì)應(yīng)的第一面內(nèi)形變差，確定所述數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)的面內(nèi)形變測(cè)量精度，包括：

根據(jù)所述第二預(yù)設(shè)角度，確定所述第一目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)和所述第二目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)的第二面內(nèi)形變差；

根據(jù)所述第二面內(nèi)形變差，以及所述第一目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)和所述第二目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)每次滾轉(zhuǎn)對(duì)應(yīng)的第一面內(nèi)形變差之間的差異，確定所述數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)的面內(nèi)形變測(cè)量精度。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述第二預(yù)設(shè)角度，確定所述第一目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)和所述第二目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)的第二面內(nèi)形變差，包括：

確定所述第一目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)和所述第二目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)之間的水平距離；

根據(jù)所述第二預(yù)設(shè)角度和所述水平距離的乘積，確定所述第二面內(nèi)形變差。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述采用數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)測(cè)量所述物面中的第一目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)和第二目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)每次滾轉(zhuǎn)對(duì)應(yīng)的第一面內(nèi)形變差，包括：

針對(duì)任一次滾轉(zhuǎn)，采用所述數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)確定本次滾轉(zhuǎn)所引起的物面相位變化；

根據(jù)所述物面相位變化，確定所述第一目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)和所述第二目標(biāo)觀測(cè)點(diǎn)本次滾轉(zhuǎn)對(duì)應(yīng)的第一面內(nèi)形變差。