[發明專利]一種等離子電極板

在審

• 申請號: 202010311058.3
• 申請日: 2020-04-20
• 公開（公告）號: CN111508812A
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發明（設計）人: 劉善石
• 申請（專利權）人: 昆山索坤萊機電科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 深圳市智勝聯合知識產權代理有限公司 44368
• 代理人: 齊文劍

本發明提供了一種等離子電極板，包括：至少一個電極主體和支撐箱體，電極主體固定安裝于支撐箱體內，電極主體設有至少兩個引水管、至少一個通透槽和恒溫通道，至少兩個連通的恒溫通道沿電極主體排布設置，通透槽與恒溫通道交替設置，通透槽設有至少一個加強筋，支撐箱體設有引水孔，引水管一端與恒溫通道連接、另一端穿過引水孔與外部水道連接。通過在電極主體上設置通透槽，在減輕電極主體表面積的同時，能夠有效提高單位面積電能的利用率，為氣體提供了更高的電能，同時增加了電離氣體的通透性和流動性。在通透槽設置加強筋，能夠對隔斷處其加固作用，防止過多的通透槽導致電極板加工形變大，提高了放電過程的抗干擾性。

技術領域

本發明涉及電極板技術領域，特別是涉及一種等離子電極板。

背景技術

等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產生的物質。等離子清洗、刻蝕產生等離子體的裝置就是在密封容器中設置兩種電極磁場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子間距、分子和離子的自由運動距離也越來越長，受磁場作用，發生碰撞而成，同時產生輝光。等離子體在電磁場內空間運動，并轟擊被處理物體表面，從而達到表面處理、清洗和刻蝕的效果。等離子清洗極大地提高了清洗效率，降低了生產成本，保護了環境的清潔與衛生。具有雙重的經濟效益與社會效益。

隨著科技的發展，現有大量等離子清洗裝置，應用于線路板鉆孔后孔內的除膠工序，傳統的濕法除膠工藝已經不能滿足現有電路板小孔徑、盲孔等工藝要求，同時產品加工后常有殘留膠渣，所以等離子清洗的干式制程受到矚目。

傳統等離子清洗刻蝕箱體電極板采用平板式工藝，能量利用率低，電極板與電極板之間存在不利于等離子體在空間內運動的問題，同時不同電極板的溫度差異較大，升溫時間較長，使得產品處理單次時間較長，產品良率較低，已經不符合當前經濟發展的新態勢。

發明內容

鑒于上述問題，提出了本發明以便提供一種克服上述問題或者至少部分地解決上述問題的一種等離子電極板。

為了解決上述問題，本發明公開了一種等離子電極板，包括：至少一個電極主體和支撐箱體，所述電極主體固定安裝于所述支撐箱體內，所述電極主體設有至少兩個引水管、至少一個通透槽和恒溫通道，至少兩個連通的所述恒溫通道沿所述電極主體排布設置，所述通透槽與所述恒溫通道交替設置，所述通透槽設有至少一個加強筋，所述支撐箱體設有引水孔，所述引水管一端與所述恒溫通道連接、另一端穿過所述引水孔與外部水道連接。

進一步地，還包括進水口和出水口，所述引水管包括第一引水管和第二引水管，所述第一引水管和所述第二引水管分別位于所述恒溫通道的兩側，所述第一引水管連接所述進水口，所述第二引水管連接所述出水口，所述進水口和所述出水口分別連接外部水循環系統。

進一步地，所述進水口或所述出水口處設有調節水流大小的調節閥門。

進一步地，所述引水管通過包覆絕緣件與所述箱體隔絕。

進一步地，還包括密封圈，所述絕緣件外側設有密封槽位，所述密封圈設于所述密封槽位內。

進一步地，所述電極主體還設有至少一個固定位，所述電極主體與所述支撐箱體通過所述固定位固定連接。

進一步地，所述支撐箱體設有固定孔，所述固定位適配于所述固定孔內。

進一步地，所述固定位與所述電極主體一體成型。

進一步地，所述恒溫通道包括橫向運水道和縱向運水道，至少兩個所述縱向運水道排列設于所述電極主體上，所述縱向運水道通過所述橫向運水道連通。

進一步地，所述電極主體還設有電極連接位，所述電極連接位與外部功率電源連接。