[發明專利]一種底面具有波浪結構的保持環和承載頭

有效

• 申請號: 202010301605.X
• 申請日: 2020-04-16
• 公開（公告）號: CN111318960B
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 孟松林;趙德文;王宇
• 申請（專利權）人: 華海清科股份有限公司
• 主分類號: B24B37/30
• 分類號: B24B37/30;B24B37/32;B24B57/02
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1.一種底面具有波浪結構的保持環，其特征在于，所述保持環由環形部構成，所述環形部由金屬部和非金屬部層疊膠合而成；所述環形部包括頂面、底面、外側面和內側面，所述頂面用于與承載頭固定連接，所述底面用于與拋光表面抵接，所述外側面設置于環形部的外側并連接頂面與底面，所述內側面設置于環形部的內側并連接頂面與底面，所述底面設置有連通內側面和外側面的供液槽；所述頂面設置有孔徑不同的螺紋孔，所述螺紋孔位于所述供液槽的豎直上方，使得固定于承載頭的保持環的底面沿圓周長度方向形成高度不同的波浪結構；

所述螺紋孔相對于環形部的中心對稱分布，相鄰螺紋孔距環形部中心的距離不相等，相鄰螺紋孔的螺孔孔徑不相等；

環形部內側的螺紋孔與外側面的距離為環形部寬度的1/2-2/3，環形部外側的螺紋孔與外側面的距離為環形部寬度的1/4-1/2，所述螺紋孔內設置有鋼絲螺紋套；

所述保持環還具有與所述螺紋孔配合的鎖緊螺栓以產生對環形部向上的拉力；

相鄰螺紋孔的螺孔深度不相等；

所述螺紋孔的外徑應為所述供液槽的寬度的1.5倍至3倍。

2.如權利要求1所述的保持環，其特征在于，所述保持環的底面的平面度介于5μm-10μm。

3.如權利要求1所述的保持環，其特征在于，所述螺紋孔內設置有螺紋套，所述螺紋套為鋼絲螺紋套，所述鋼絲螺紋套的表面涂覆有保護涂層，所述保護涂層為聚四氟乙烯。

4.如權利要求1所述的保持環，其特征在于，所述內側的螺紋孔的螺孔深度為外側的螺紋孔的螺孔深度的110％-160％。

5.一種承載頭，用于化學機械拋光，其特征在于：包括權利要求1-4任一項所述的保持環。