[發明專利]真空泵

在審

• 申請號: 202010296075.4
• 申請日: 2015-07-30
• 公開（公告）號: CN111561462A
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 清水幸一;蘆田修
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/063;F04D29/58;F04D29/059;F04D29/66
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 薛恒;王琳

本發明提供一種真空泵，能確保從滾動軸承散熱的性能、且能降低支撐剛性。渦輪分子泵包括底座；轉子；軸，耦接所述轉子；支撐轉子的滾動軸承，且其具有設置在所述軸的內輪與支撐于所述底座上的外輪；彈性保持滾動軸承的外輪的底座；及冷卻用的油脂，填充于底座、外輪與底座之間的空間且稠度的NLGI編號為1.5以下的油脂，提升從所述外輪向所述底座的熱傳遞。與使用稠度的美國潤滑脂學會編號為1.5還大的冷卻用的油脂的情況相比，通過使用稠度的美國潤滑脂學會編號為1.5以下的冷卻用的油脂，當所述滾動軸承在徑向移動時冷卻用的油脂的移動順利地進行，且抑制徑向支撐剛性的增大，向所述底座傳遞的振動變小。

本申請為申請日為2015年07月30日，申請號為201510461378.6，發明名稱為“真空泵”的專利的分案申請。

技術領域

本發明涉及一種利用滾動軸承來支撐轉子的真空泵。

背景技術

之前，已知有利用經油脂潤滑的滾動軸承來支撐轉子的旋轉軸的真空泵。此種真空泵存在如下問題：因由轉子的不平衡所致的振動旋轉而產生振動，且該振動會被傳遞至泵外部。作為該問題的對策，有彈性支撐滾動軸承而使振動衰減的方法。

例如，在專利文獻1中記載的渦輪分子泵中，在利用外側套管對保持滾動軸承的外輪的內側套管進行保持、且將該外側套管固定于底座的構成中，在外輪的外周與內側套管之間、及內側套管與外側套管之間設有彈性體(O環)。并且，為了提升內側套管與外側套管之間的散熱性能，設有由導熱凝膠形成的凝膠層。凝膠層被彈性體密封。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]國際公開第2006/131694號說明書

發明內容

[發明所要解決的問題]

然而，當彈性支撐滾動軸承時，為了充分減弱傳遞至泵外的振動，須充分減小彈性系數。因此，在如專利文獻1中記載的構成般、在內側套管與外側套管的徑向間隙內設置凝膠層的構成中，存在因凝膠層的影響而導致無法充分降低徑向的支撐剛性的問題。

[解決問題的技術手段]

本發明的優選的實施方式中的真空泵包括：底座；轉子；軸，耦接所述轉子；支撐轉子的滾動軸承，且其具有設置在所述軸的內輪與支撐于所述底座上的外輪；彈性保持所述滾動軸承的外輪的保持部；及冷卻用的油脂，填充于所述外輪與所述保持部之間的空間、且稠度的美國潤滑脂學會(National Lubricating Grease Institute，NLGI)編號為1.5以下的油脂，提升從所述外輪向所述底座的熱傳遞。與使用稠度的美國潤滑脂學會編號為1.5還大的冷卻用的油脂的情況相比，通過使用稠度的美國潤滑脂學會編號為1.5以下的冷卻用的油脂，當所述滾動軸承在徑向移動時冷卻用的油脂的移動順利地進行，且抑制徑向支撐剛性的增大，向所述底座傳遞的振動變小。

在更優選的實施方式中，所述保持部包括彈性支撐所述外輪的至少兩個彈性構件，所述油脂填充于由所述兩個彈性構件、所述外輪及所述保持部包圍的區域、且維持在泵使用溫度下不會流出至所述區域的外部的油脂狀態。

在更優選的實施方式中，更包括導熱率高于所述外輪的散熱構件，該散熱構件包括與所述外輪接觸的接觸部、及從該接觸部延設而設于填充有所述油脂的區域的散熱部。

在更優選的實施方式中，所述油脂在泵使用溫度下的油離度為10％以下。

在更優選的實施方式中，所述油脂是溫度20℃下的飽和蒸氣壓為10^-8Pa以下的氟油脂。

[發明的效果]

根據本發明，可確保從滾動軸承散熱的性能、且可降低支撐剛性。

附圖說明