[發明專利]基于掃描振鏡的激光加工小孔裝置

有效

• 申請號: 202010287672.0
• 申請日: 2020-04-13
• 公開（公告）號: CN111375902B
• 公開（公告）日: 2021-12-10
• 發明（設計）人: 張曉兵;紀亮;焦佳能;蔡敏;張偉;李元成;毛忠
• 申請（專利權）人: 中國航空制造技術研究院
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/382;B23K26/082;B23K26/14;B23K26/064
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1.基于掃描振鏡的激光加工小孔裝置，其特征在于，包括：第一45°反射鏡、二維掃描振鏡單元、聚焦物鏡、同軸輔助吹氣機構和基座；

所述二維掃描振鏡單元、所述聚焦物鏡、所述同軸輔助吹氣機構由上至下分體安裝于所述基座上，且所述聚焦物鏡和所述同軸輔助吹氣機構在上下方向上自由移動；

所述二維掃描振鏡單元與所述第一45°反射鏡安裝于同一底板，所述第一45°反射鏡設置在激光源與所述二維掃描振鏡單元之間的激光束傳輸路徑上，并與所述二維掃描振鏡單元用于改變所述激光束的輸出路徑，使得所述激光束水平穿過所述二維掃描振鏡單元后垂直照射在所述聚焦物鏡的上表面中心位置；

所述同軸輔助吹氣機構包括噴嘴座和設置在所述噴嘴座下端的噴嘴，所述噴嘴在水平方向自由移動；所述激光加工小孔裝置還包括：第二45°反射鏡、第三45°反射鏡、第四45°反射鏡、第五45°反射鏡、透鏡、攝像頭、照明光源；所述照明光源、所述第二45°反射鏡、所述第三45°反射鏡和所述第四45°反射鏡依次設置在照明光源輸出的照明光的傳輸路徑上，所述第四45°反射鏡、所述透鏡、所述第五45°反射鏡和所述攝像頭設置在所述照明光照射在小孔上反射的反射光的傳輸路徑上；所述照明光源輸出后依次經過所述第四45°反射鏡、所述第三45°反射鏡、所述第二45°反射鏡反射后垂直透射穿過所述第一45°反射鏡、所述二維掃描振鏡單元、所述聚焦物鏡和所述噴嘴后照射在小孔加工位置處；所述照明光照射在小孔上反射的反射光依次透射穿過所述噴嘴、所述聚焦物鏡、所述二維掃描振鏡單元后經由所述第一45°反射鏡、所述第二45°反射鏡、所述第三45°反射鏡反射后，再經由所述第四45°反射鏡、所述透鏡透射后；然后由所述第五45°反射鏡反射后被所述攝像頭所接收；所述透鏡在所述第四45°反射鏡與所述第五45°反射鏡之間的光路傳輸路徑的前后位置上可調。

2.根據權利要求1所述的基于掃描振鏡的激光加工小孔裝置，其特征在于，所述激光束的激光脈沖寬度為飛秒、皮秒或納秒中的一種。