[發明專利]一種硅片載盤推齊定位裝置、載板輸送系統及輸送方法

在審

• 申請號: 202010278340.6
• 申請日: 2020-04-10
• 公開（公告）號: CN111302065A
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 李新豐;連建軍;董平博;王彥齊
• 申請（專利權）人: 蘇州邁為科技股份有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07
• 代理公司: 江蘇瑞途律師事務所 32346
• 代理人: 王珒

1.一種硅片載盤推齊定位裝置，其特征在于：包括，

載板推齊單元(200)，所述載板推齊單元(200)包括輸送軌(210)和升降機構(220)，所述輸送軌(210)上設置有阻擋機構(230)和載板推齊機構(240)；所述輸送軌(210)用于沿第一方向輸送載板(400)，所述阻擋機構(230)具有阻擋件，所述載板推齊機構(240)包括第一驅動件和第一推齊件；以及，

載盤定位單元(300)，所述載盤定位單元(300)包括載盤推齊機構(310)、載盤定位機構(320)和安裝架(330)，所述載盤推齊機構(310)包括第二驅動件和第二推齊件；

所述硅片載盤推齊定位裝置被配置為：所述阻擋件阻擋載板(400)停下，所述第一驅動件驅使第一推齊件沿第二方向移動以將所述載板(400)推齊，所述升降機構(220)驅使所述輸送軌(210)沿第三方向運動以使所述載板(400)支撐在所述安裝架(330)上；之后，所述第二驅動件驅使第二推齊件移動以將所述載盤(420)推齊，所述載盤定位機構(320)調整載盤(420)相對于輸送軌(210)的角度和位置。

2.根據權利要求1所述的一種硅片載盤推齊定位裝置，其特征在于：所述輸送軌(210)包括平行設置的第一軌道和第二軌道；所述載板推齊機構(240)設置在第一軌道上，所述第一推齊件的自由端朝向第二軌道設置。

3.根據權利要求2所述的一種硅片載盤推齊定位裝置，其特征在于：所述載板推齊機構(240)至少設置有兩個，至少兩個所述載板推齊機構(240)中的至少一個位于第一軌道上靠近前端的位置，至少兩個所述載板推齊機構(240)中的至少一個位于第一軌道上靠近后端的位置；和/或，

所述阻擋機構(230)設置為兩個，兩個所述阻擋機構(230)分別設置在第一軌道和第二軌道上。

4.根據權利要求2所述的一種硅片載盤推齊定位裝置，其特征在于：所述阻擋件具有阻擋部，所述阻擋件由第三驅動件驅動以使阻擋部旋轉至阻擋位；或者，

所述阻擋件的阻擋部連接在第三驅動件的運動端上，所述阻擋部由第三驅動件驅動以伸長至阻擋位。

5.根據權利要求1所述的一種硅片載盤推齊定位裝置，其特征在于：所述載盤推齊機構(310)還包括第四驅動件，所述第四驅動件用于驅使所述第二推齊件沿第三方向運動。

6.根據權利要求1所述的一種硅片載盤推齊定位裝置，其特征在于：所述載盤定位機構(320)包括二維移動平臺和旋轉平臺，所述二維移動平臺用于調整載盤推齊機構(310)相對于輸送軌(210)在第一方向和第二方向上的位置，所述旋轉平臺用于調整載盤推齊機構(310)相對于輸送軌(210)的角度；或者，

所述載盤定位機構為高精度回轉定位平臺。

7.根據權利要求1所述的一種硅片載盤推齊定位裝置，其特征在于：所述載盤推齊機構(310)設置有多個，多個所述載盤推齊機構(310)沿第一方向排列。

8.根據權利要求1所述的一種硅片載盤推齊定位裝置，其特征在于：所述輸送軌(210)上方設置有多個拍攝相機(140)，多個所述拍攝相機(140)用于采集載盤(420)的位置信息和角度信息。

9.一種硅片載板輸送系統，其特征在于：包括上料裝置(100)和載盤推齊定位裝置，所述載盤推齊定位裝置為權利要求1～8中任一項所述的載盤推齊定位裝置，所述上料裝置(100)的上料機構(110)能夠沿第二方向將硅片(500)輸送至上料位。

10.一種硅片載板輸送方法，其特征在于：采用權利要求9所述的輸送系統進行硅片(500)的輸送，具體包括以下步驟：

步驟一、載板(400)沿著輸送軌(210)進入載盤推齊定位裝置，阻擋機構(230)的阻擋件完成對載板(400)的阻擋，載板推齊機構(240)完成對載板(400)的推齊；

步驟二、升降機構(220)驅動輸送軌(210)下降，使得載板(400)支撐在載盤推齊機構(310)上；載盤推齊機構(310)的第四驅動件驅使第二推齊件沿第三方向頂升，第二驅動件驅使第二推齊件將所述載盤(420)推齊；

步驟三、輸送軌(210)上方的多個拍攝相機(140)對載盤(420)的位置信息和角度信息進行采集，同時計算出載盤(420)相對于輸送軌(210)的偏移距離和偏移角度；

步驟四、第四驅動件驅使第二推齊件沿第三方向縮回，載盤定位機構(320)完成對載盤(420)相對于輸送軌(210)位置和角度的調整；上料裝置(100)對載板(400)進行硅片(500)的上料；

步驟五、載板(400)完成硅片(500)的上料后，繼續向下游工序輸送。