[發明專利]具有壓力感測元件和流量感測元件的集成傳感器裝置

有效

• 申請號: 202010264811.8
• 申請日: 2020-04-07
• 公開（公告）號: CN111795718B
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發明（設計）人: 理查德·查爾斯·索倫森;史蒂文·洛厄里;伊恩·本特利
• 申請（專利權）人: 霍尼韋爾國際公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02;G01P5/12;G01N25/20;G01N25/18;G01L11/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 蔣駿;陳嵐

1.一種裝置，包括：

基底；

覆蓋構件，所述覆蓋構件包括流動隧道，其中所述覆蓋構件設置在所述基底上并且被構造為使得氣態物質能夠流動穿過所述流動隧道；

流量感測元件，所述流量感測元件設置在所述基底上，其中所述流量感測元件暴露于所述流動隧道中的所述氣態物質并且被構造用于感測所述氣態物質穿過所述流動隧道的流速；

壓力感測元件，所述壓力感測元件設置在所述基底上，其中所述壓力感測元件暴露于所述流動隧道中的所述氣態物質并且被構造用于感測所述流動隧道中的所述氣態物質的壓力；和

處理電路系統，所述處理電路系統被配置基于由所述流量感測元件和所述壓力感測元件分別感測的流速和壓力來計算所述氣態物質的熱導率。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中所述覆蓋構件包括第一端口和第二端口，所述第一端口具有第一開口，所述第二端口具有第二開口，其中所述第一開口和所述第二開口通過所述流動隧道彼此連接。

3.根據權利要求1所述的裝置，還包括中間層，所述中間層設置在所述基底與所述覆蓋構件之間，其中所述中間層包括隧道腔體。

4.根據權利要求1所述的裝置，其中所述流量感測元件包括加熱器電阻器、第一溫度感測電阻器和第二溫度感測電阻器，其中所述加熱器電阻器、所述第一溫度感測電阻器和所述第二溫度感測電阻器設置在所述基底上。

5.根據權利要求4所述的裝置，其中所述加熱器電阻器設置在所述基底上的所述第一溫度感測電阻器與所述第二溫度感測電阻器之間。

6.根據權利要求1所述的裝置，其中所述流量感測元件為微型機電系統(MEMS)流量感測管芯。

7.根據權利要求1所述的裝置，其中所述壓力感測元件為微型機電系統(MEMS)壓力感測管芯。

8.根據權利要求1所述的裝置，其中所述處理電路系統設置在所述基底上，并且其中所述處理電路系統電耦合至所述流量感測元件和所述壓力感測元件。

9.根據權利要求8所述的裝置，其中所述流量感測元件被構造為將指示所述氣態物質的傳熱率的第一信號傳輸到所述處理電路系統，其中所述壓力感測元件被構造為將指示所述氣態物質的壓力的第二信號傳輸到所述處理電路系統。

10.根據權利要求9所述的裝置，還包括存儲器電路系統，所述存儲器電路系統存儲處理功能，所述存儲器電路系統和所述處理功能被配置為利用所述處理電路系統使所述裝置基于所述第一信號和所述第二信號來計算所述氣態物質的熱導率。