[發(fā)明專(zhuān)利]一種表面鍍鎳的銅基鍵合絲及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010260467.5
• 申請(qǐng)日: 2020-04-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111599782B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周鋼
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 廣東佳博電子科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L23/49
• 分類(lèi)號(hào): H01L23/49;H01L21/48;C25D3/12;C22F1/08;C22F1/02;C22C9/00
• 代理公司: 廣州專(zhuān)理知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44493
• 代理人: 王允輝

1.一種表面鍍鎳的銅基鍵合絲的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

1)原料準(zhǔn)備以及預(yù)處理：將金屬采用無(wú)水乙醇進(jìn)行超聲波清洗并烘干；

2)基材熔鑄：將烘干后的金屬銅、錳、鎢、硼以及鋯混合，在高純氬氣的氛圍下，先進(jìn)行真空熔煉，真空度為10^-3～10^-2MPa，熔煉溫度為1050～1250℃，熔煉時(shí)間為50～80分鐘，之后進(jìn)行定向連鑄，獲得直徑為50～70μm的銅基母合金線(xiàn)；

3)冷拉絲：銅基母合金冷卻至150～200℃，進(jìn)行粗拉絲使得直徑為20～30μm，再進(jìn)行細(xì)拉絲使得直徑為15～20μm；

4)表面活性處理：采用有機(jī)溶劑對(duì)銅基母合金線(xiàn)的表面進(jìn)行清洗除氧處理，再將銅基母合金線(xiàn)浸泡于酸性溶液進(jìn)行活化；

所述酸性溶液包括硫酸、硝酸和丁二酸的混合液，所述硫酸、硝酸與丁二酸的混合比例為(1～2):(1～2):(3～5)，所述硫酸和硝酸的濃度均為5～10mol/L，所述丁二酸的濃度為20～25mol/L；

5)表面鍍鎳：將經(jīng)過(guò)表面活性處理的銅基母合金線(xiàn)的表面鍍上一層金屬鎳，電鍍液為堿性鎳電鍍液，其pH為7～8，電鍍的電流密度為0.5～5A/dm²，電鍍溫度為55～75℃，電鍍的速度為25～40m/s，鎳層的厚度為50～100nm，在此厚度的范圍內(nèi)，制備的鍵合絲的成球性較好，其燒球狀態(tài)比較圓潤(rùn)，燒的球，越圓潤(rùn)表明鍵合絲的性能越好；

6)退火：采用線(xiàn)式退火，線(xiàn)材穿過(guò)氫氮?dú)獗Ｗo(hù)的爐膛，爐膛溫度為400～600℃，速度為0.5～2m/s；

所述氫氮?dú)鉃闅錃夂偷獨(dú)獾幕旌蠚怏w，氫氣和氮?dú)獾幕旌媳壤秊?4.5～7):(93～95.5)；

7)繞線(xiàn)，包裝。

2.由權(quán)利要求1所述的表面鍍鎳的銅基鍵合絲的制備方法，其特征在于，步驟3)所述粗拉絲的拉拔速度為280～350m/min，模具延伸率為4～20％。

3.由權(quán)利要求1所述的表面鍍鎳的銅基鍵合絲的制備方法，其特征在于，步驟3)所述細(xì)拉絲的拉拔速度為120～180m/min，模具延伸率為4～20％。

4.由權(quán)利要求1所述的表面鍍鎳的銅基鍵合絲的制備方法，其特征在于，按質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì)，步驟2)所述銅基母合金中金屬銅含量≥99.99％，微量添加錳、鎢、硼以及鋯補(bǔ)足至100％。

5.由權(quán)利要求1所述的表面鍍鎳的銅基鍵合絲的制備方法，其特征在于，步驟2)所述金屬銅和鎳的純度均高于99.99％。