[發(fā)明專利]一種五自由度微動(dòng)平臺(tái)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010258477.5
• 申請(qǐng)日: 2020-04-03
• 公開（公告）號(hào): CN111421522A
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙景山;魏松濤;紀(jì)俊杰;徐勝金
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類號(hào): B25J9/00
• 分類號(hào): B25J9/00;B25J9/02
• 代理公司: 北京東方盛凡知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11562
• 代理人: 張雪

1.一種五自由度微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：包括微動(dòng)平臺(tái)(5)和與所述微動(dòng)平臺(tái)(5)固定的滑軌機(jī)構(gòu)；

所述微動(dòng)平臺(tái)(5)包括轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)(55)、設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)(55)下部的三個(gè)以上鉸接機(jī)構(gòu)、與每個(gè)所述鉸接機(jī)構(gòu)下端固定的高精度直線電機(jī)(56)、固定在所述轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)(55)上部中心的球形鉸鏈(54)、固定在所述高精度直線電機(jī)(56)底部的底座(4)、設(shè)置在所述底座(4)上部與所述鉸接機(jī)構(gòu)之間的電機(jī)外殼(51)；所述底座(4)底部與所述滑軌機(jī)構(gòu)固定連接；

所述球形鉸鏈(54)通過(guò)支撐桿(57)與電機(jī)外殼(51)頂部固定；

所述滑軌機(jī)構(gòu)包括垂直于水平面的第三直線導(dǎo)軌(3)、水平設(shè)置在所述第三直線導(dǎo)軌(3)底部的第二直線導(dǎo)軌(2)及水平設(shè)置在所述第二直線導(dǎo)軌(2)底部且與所述第二直線導(dǎo)軌(2)垂直的第一直線導(dǎo)軌(1)；

所述底座(4)固定在所述第三直線導(dǎo)軌(3)的滑塊上；

所述第三導(dǎo)軌(3)固定在所述第二直線導(dǎo)軌(2)的滑塊上；

所述第二直線導(dǎo)軌固定在所述第一直線導(dǎo)軌(1)的滑塊上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五自由度微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述鉸接機(jī)構(gòu)為柔性鉸鏈(53)，所述柔性鉸鏈為雙圓錐形。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種五自由度微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述柔性鉸鏈(53)為彈簧鋼索或柔性高分子材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五自由度微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)(55)與所述鉸接機(jī)構(gòu)通過(guò)螺釘連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)(55)與所述球形鉸鏈(54)通過(guò)第二螺釘連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五自由度微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述底座(4)與所述高精度直線電機(jī)(56)通過(guò)螺釘連接，所述電機(jī)外殼(51)與所述支撐桿(57)通過(guò)螺釘連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五自由度微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述鉸接機(jī)構(gòu)數(shù)量為四個(gè)，所述鉸接機(jī)構(gòu)通過(guò)鉸鏈連接件(52)與所述高精度直線電機(jī)(56)固定連接，所述鉸接機(jī)構(gòu)與所述高精度直線電機(jī)(56)的受力中心在同一中心軸線上。