[發(fā)明專利]用于外延設(shè)備的進(jìn)氣裝置以及外延設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010238986.1
• 申請日: 2020-03-30
• 公開（公告）號: CN111472046B
• 公開（公告）日: 2021-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張高偉;劉敬彬
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: C30B25/14
• 分類號: C30B25/14;C30B25/16
• 代理公司: 北京思創(chuàng)畢升專利事務(wù)所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

1.一種用于外延設(shè)備的進(jìn)氣裝置，其特征在于，包括：進(jìn)氣焊件（1）、基座環(huán)（3）和勻流板（2），所述進(jìn)氣焊件（1）設(shè)于所述基座環(huán)（3）的一側(cè)，所述進(jìn)氣焊件（1）朝向所述基座環(huán)（3）的表面上設(shè)有出氣凹槽，所述出氣凹槽的端面（13）上設(shè)有出氣口，所述基座環(huán)（3）朝向所述進(jìn)氣焊件（1）的表面上設(shè)有進(jìn)氣口，所述出氣口與所述進(jìn)氣口對應(yīng)地設(shè)置；

所述勻流板（2）設(shè)在所述出氣凹槽中，其上設(shè)有多個氣體通道，所述基座環(huán)（3）朝向所述進(jìn)氣焊件（1）的表面上還設(shè)置有彈性部件，所述彈性部件用于向所述勻流板（2）施加壓力，使所述勻流板（2）與所述出氣凹槽的端面（13）貼合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于外延設(shè)備的進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述基座環(huán)（3）的所述進(jìn)氣口中設(shè)有凹梁（14），所述彈性部件設(shè)在所述凹梁（14）朝向所述進(jìn)氣焊件（1）的端面上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于外延設(shè)備的進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述彈性部件為彈片結(jié)構(gòu)（15），所述彈片結(jié)構(gòu)（15）包括支撐基板（17）和與所述支撐基板（17）連接的能彈性形變的彈片（16）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于外延設(shè)備的進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述支撐基板（17）與所述凹梁（14）朝向所述進(jìn)氣焊件（1）的端面貼合，所述彈片（16）在彈性變形后向所述勻流板（2）施加壓力。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于外延設(shè)備的進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述基座環(huán)（3）朝向所述進(jìn)氣焊件（1）的表面上設(shè)有進(jìn)氣凹槽，所述進(jìn)氣口設(shè)在所述進(jìn)氣凹槽的端面上，所述進(jìn)氣口中設(shè)有凹梁（14），所述凹梁（14）朝向所述進(jìn)氣焊件（1）的端面與所述進(jìn)氣凹槽的端面在同一個平面上，所述彈性部件設(shè)在所述進(jìn)氣凹槽中。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于外延設(shè)備的進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣凹槽的端面上沿所述進(jìn)氣口的外周設(shè)有環(huán)形槽（19），所述彈性部件設(shè)在所述環(huán)形槽（19）中。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于外延設(shè)備的進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述彈性部件為設(shè)在所述環(huán)形槽（19）中能彈性形變的環(huán)形彈性條（22），所述環(huán)形彈性條（22）的橫截面為圓形、橢圓形或C型；

所述環(huán)形彈性條（22）彈性形變后向所述勻流板（2）施加壓力。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于外延設(shè)備的進(jìn)氣裝置，其特征在于，在向所述勻流板（2）施加壓力時，所述彈片（16）的彈性形變量小于其最大彈性形變量。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于外延設(shè)備的進(jìn)氣裝置，其特征在于，在向所述勻流板（2）施加壓力時，所述環(huán)形彈性條（22）的彈性形變量小于其最大彈性形變量。

10.根據(jù)權(quán)利要求2或5所述的用于外延設(shè)備的進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣口中所述凹梁（14）的兩側(cè)各設(shè)有一進(jìn)氣襯套（9）。

11.一種外延設(shè)備，包括反應(yīng)腔室和根據(jù)權(quán)利要求1-10中任意一項(xiàng)所述的用于外延設(shè)備的進(jìn)氣裝置；

所述進(jìn)氣裝置與所述反應(yīng)腔室連接，用于向反應(yīng)腔室輸送工藝氣體。