[發明專利]一種適用于機械手操作的推蓋式VPI設備

在審

• 申請號: 202010235501.3
• 申請日: 2020-03-30
• 公開（公告）號: CN111277087A
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 劉春曉;常永生;趙華
• 申請（專利權）人: 沈陽維科真空技術有限公司
• 主分類號: H02K15/10
• 分類號: H02K15/10;H02K15/12
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 張德才

1.一種適用于機械手操作的推蓋式VPI設備，其特征在于：包括框架、固定于所述框架底部的罐體和配設于所述罐體頂部的罐蓋，且所述罐蓋通過平移驅動組件安裝于所述框架的頂部，當所述罐蓋相對所述罐體處于脫開狀態時，所述平移驅動組件能夠同時驅動所述罐蓋相對所述罐體作平移運動；所述推蓋式VPI設備用于安裝在機械手的下方，所述機械手能夠將工件送入開口的所述罐體內。

2.根據權利要求1所述的適用于機械手操作的推蓋式VPI設備，其特征在于：所述平移驅動組件包括安裝于所述框架一端的電機、與所述電機的輸出端連接的絲桿以及螺紋套設于所述絲桿上的滑塊，所述罐蓋固定于所述滑塊的頂部。

3.根據權利要求2所述的適用于機械手操作的推蓋式VPI設備，其特征在于：所述平移驅動組件還包括平行于所述絲桿設置的軌道，所述滑塊的底部與所述軌道滑動連接。

4.根據權利要求1或2所述的適用于機械手操作的推蓋式VPI設備，其特征在于：所述平移驅動組件對稱設置有兩組。

5.根據權利要求2所述的適用于機械手操作的推蓋式VPI設備，其特征在于：所述電機的輸出端安裝有聯軸器，所述絲桿通過軸承與所述聯軸器連接。

6.根據權利要求1所述的適用于機械手操作的推蓋式VPI設備，其特征在于：所述罐蓋的頂部設置有安全閥。

7.根據權利要求1所述的適用于機械手操作的推蓋式VPI設備，其特征在于：所述罐體一側的頂部和底部分別設置有液位計上口和液位計下口；所述罐體另一側的頂部和底部分別設置有抽真空口和輸回漆口；所述抽真空口處設置有電接點壓力表和放氣口。

8.根據權利要求1所述的適用于機械手操作的推蓋式VPI設備，其特征在于：所述罐體的側壁設置有測溫口。

9.根據權利要求1所述的適用于機械手操作的推蓋式VPI設備，其特征在于：所述罐體的罐口邊緣設置有罐體卡環，所述罐蓋的邊緣設置有與所述罐體卡環匹配的罐蓋卡環。

10.根據權利要求1所述的適用于機械手操作的推蓋式VPI設備，其特征在于：可多組所述推蓋式VPI設備組合使用。