[發明專利]一種生產超薄CVD金剛石的方法

在審

• 申請號: 202010231730.8
• 申請日: 2020-03-27
• 公開（公告）號: CN111360411A
• 公開（公告）日: 2020-07-03
• 發明（設計）人: 趙芬霞;劉宏明
• 申請（專利權）人: 湖州中芯半導體科技有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/402;B23K26/08;B23K26/70;B23K37/04
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 11616
• 代理人: 鄧凌云

1.一種生產超薄CVD金剛石的方法，其特征在于：包括如下步驟：

S1.準備待處理加工的CVD金剛石片、功率大于10W的激光器(1)和用于驅動激光器(1)運動的數控機床(2)；

S2.將CVD金剛石片固定在數控機床(2)工作面上，打開激光器(1)發射出激光照射樣品表面，CVD金剛石片表面的碳原子與空氣中的氧氣結合成為二氧化碳氣體逸出，從而消耗金剛石的厚度；

S3.通過數控機床(2)在平行于CVD金剛石片表面的平面內沿固定路徑循環移動激光器(1)，使得激光器(1)照射出的激光光斑能夠覆蓋CVD金剛石片表面的所有區域；

S4.在S3的基礎上持續一端時間后，CVD金剛石片的厚度減小，達到預期厚度后停止激光器(1)工作，等到CVD金剛石片冷卻至室溫后取出CVD金剛石片即可完成對CVD金剛石片的精加工操作。

2.根據權利要求1所述的一種生產超薄CVD金剛石的方法，其特征在于：所述數控機床(2)包括固定臺(3)，所述固定臺(3)的底部四角處均固定連接有支撐腿(4)，所述固定臺(3)的上端固定連接有U形支撐板(5)，所述U形支撐板(5)相對兩個豎直內壁的上端均固定連接有橫板(6)，所述橫板(6)的下端和固定臺(3)的上端之間轉動連接有同一根調節螺桿(7)，所述調節螺桿(7)的上端貫穿橫板(6)的表面且固定連接有從動斜齒輪(8)，所述U形支撐板(5)上端相對一側內壁轉動連接有同一根轉桿(9)，所述轉桿(9)的桿壁固定套接有與從動斜齒輪(8)嚙合的主動斜齒輪(10)，所述U形支撐板(5)的外壁固定連接有驅動電機(11)，所述驅動電機(11)的輸出端貫穿U形支撐板(5)的側壁且與轉桿(9)的一端固定連接，所述調節螺桿(7)的桿壁螺紋連接有升降塊(12)，兩個所述升降塊(12)之間固定連接有同一個圓形電動滑軌(13)，所述圓形電動滑軌(13)內滑動連接有滑塊(14)，所述滑塊(14)的一端固定連接有定位筒(15)，所述定位筒(15)內通過定位機構(16)固定卡接有定位塊(17)，所述定位塊(17)的一端與激光器(1)的后端固定連接。

3.根據權利要求2所述的一種生產超薄CVD金剛石的方法，其特征在于：所述定位機構(16)包括兩根對稱活動插設在定位筒(15)側壁的定位插桿(161)，所述定位塊(17)的側壁開設有與定位插桿(161)對應插接的定位插槽(162)，所述定位插桿(161)的一端固定連接有牽拉板(163)，所述牽拉板(163)和定位筒(15)相向一側側壁之間固定連接有同一個套設在定位插桿(161)外的定位彈簧(164)。

4.根據權利要求2所述的一種生產超薄CVD金剛石的方法，其特征在于：所述固定臺(3)的下端對稱固定連接有兩個卡板(18)，兩個所述卡板(18)之間分別轉動連接有第一螺桿(19)和第二螺桿(20)，所述第一螺桿(19)和第二螺桿(20)相向一端焊接在一起且兩者桿壁螺紋為互為反向螺紋，所述卡板(18)的外壁固定連接有旋轉電機(21)，所述旋轉電機(21)的輸出軸與第二螺桿(20)的一端固定連接，所述第一螺桿(19)和第二螺桿(20)的桿壁均螺紋連接有移動塊(22)，所述移動塊(22)的上端通過固定臺(3)表面開設的條形開口(23)伸出固定臺(3)的上端且固定連接有橡膠夾塊(24)。

5.根據權利要求4所述的一種生產超薄CVD金剛石的方法，其特征在于：所述固定臺(3)對應條形開口(23)的內壁固定連接有兩根導向桿，所述移動塊(22)的側壁開設有活動套設在導向桿外的導向孔。