[發(fā)明專利]用于通過(guò)多個(gè)帶電粒子分束來(lái)檢查樣品的帶電粒子束裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010230636.0 | 申請(qǐng)日： | 2020-03-27 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN111755302A | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-10-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | P.赫拉文卡;B.賽達(dá) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | FEI公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/05 | 分類號(hào)： | H01J37/05;H01J37/20;H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 張凌苗;閆小龍 |
| 地址： | 美國(guó)俄*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 通過(guò) 帶電 粒子 分束來(lái) 檢查 樣品 粒子束 裝置 | ||
1.一種用于通過(guò)多個(gè)帶電粒子分束來(lái)檢查樣本的帶電粒子束裝置，所述帶電粒子束裝置包含：
用于保持樣品的樣品保持器；
用于產(chǎn)生帶電粒子的束的源；
照射器，用于將所述帶電粒子的束轉(zhuǎn)換成多個(gè)帶電粒子分束并且將所述多個(gè)帶電粒子分束聚焦到所述樣品上；
檢測(cè)器組件，用于檢測(cè)響應(yīng)于所述多個(gè)帶電粒子分束的輻射而從所述樣品發(fā)出的輻射的通量；
其特征在于
所述帶電粒子束裝置被布置成用于將所述多個(gè)帶電粒子分束以基本上1D圖案引導(dǎo)到所述樣品上，其中所述基本上1D圖案形成基本上2D幾何形狀的邊緣的一部分；
所述檢測(cè)器組件包含以對(duì)應(yīng)基本上1D圖案布置的多個(gè)檢測(cè)器單元，其中每個(gè)檢測(cè)器單元被布置成用于檢測(cè)響應(yīng)于所述多個(gè)帶電粒子分束中關(guān)聯(lián)的一個(gè)帶電粒子分束的輻射而從所述樣品發(fā)出的輻射的通量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其中所述基本上1D圖案包含直線和/或曲線，具體地說(shuō)其中所述基本上1D圖案包含半圓或圓。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的帶電粒子束裝置，其中所述帶電粒子束裝置被布置成通過(guò)所述多個(gè)帶電粒子分束來(lái)掃描所述樣本。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的帶電粒子束裝置，其中所述帶電粒子束裝置被布置成用于在第一方向上所述多個(gè)帶電粒子分束的往復(fù)移動(dòng)以及用于在與所述第一方向大體上正交的第二方向上所述樣品保持器的往復(fù)移動(dòng)。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的帶電粒子束裝置，其中所述檢測(cè)器組件是包含多個(gè)背散射電子（BSE）檢測(cè)器單元的BSE檢測(cè)器組件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5所述的帶電粒子束裝置，其中所述檢測(cè)器單元包含具有被定向到對(duì)應(yīng)帶電粒子分束的前端表面以及被定向到所述樣本的底部表面的外殼，其中具體地說(shuō)，所述底部表面和所述前端表面中的至少一個(gè)包含用于檢測(cè)響應(yīng)于所述對(duì)應(yīng)帶電粒子分束的輻射而從所述樣品發(fā)出的輻射的所述通量的檢測(cè)器元件。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的帶電粒子束裝置，其中所述檢測(cè)器元件包含閃爍層或單晶閃爍體。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的帶電粒子束裝置，其中所述檢測(cè)器單元包含光子傳感器或固態(tài)直接電子傳感器。
9.根據(jù)權(quán)利要求6、7或8所述的帶電粒子束裝置，其中所述檢測(cè)器單元包含用于所述檢測(cè)器元件的直接光耦合的光導(dǎo)元件。
10.根據(jù)權(quán)利要求7、8和9所述的帶電粒子束裝置，其中所述光導(dǎo)元件被布置成用于所述閃爍層到所述光子傳感器的直接光耦合。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的帶電粒子束裝置，其中所述光導(dǎo)元件延伸超過(guò)至少5mm，具體地說(shuō)至少10 mm的距離。
12.根據(jù)權(quán)利要求1-11所述的帶電粒子束裝置，其中所述多個(gè)檢測(cè)器以對(duì)應(yīng)1D圖案布置。
13.一種通過(guò)多個(gè)帶電粒子分束來(lái)檢查樣品的方法，所述方法包含以下步驟：
提供樣品；
提供多個(gè)帶電粒子分束并且將所述多個(gè)帶電粒子分束聚焦到所述樣品上；
檢測(cè)響應(yīng)于所述多個(gè)帶電粒子分束的輻射而從所述樣品發(fā)出的輻射的通量；
其特征在于所述方法包含以下步驟：
將所述多個(gè)帶電粒子分束以基本上1D圖案引導(dǎo)到所述樣品上；以及
檢測(cè)響應(yīng)于所述多個(gè)帶電粒子分束的關(guān)聯(lián)的一個(gè)帶電粒子分束的輻射而從所述樣品發(fā)出的輻射的通量。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，包含通過(guò)所述帶電粒子分束來(lái)掃描所述樣本的步驟，具體地說(shuō)通過(guò)在第一方向上將所述帶電粒子分束移動(dòng)到所述樣品上并且同時(shí)在與所述第一方向大體上正交的第二方向上移動(dòng)所述樣品。
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