[發明專利]致動器輔助定位系統和方法

有效

• 申請號: 202010229849.1
• 申請日: 2020-03-27
• 公開（公告）號: CN111755304B
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: G.勒格羅夫
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01L21/67;H01L21/68
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 佘鵬;王瑋

1.一種定位系統，其包括：

引導件，所述引導件可相對于水平參考平面移動，使得聯接到所述引導件的載體元件相對于所述水平參考平面傾斜，所述載體元件被配置成接合并輸送工件；

馬達，其包括動子元件，至少所述動子元件聯接到所述載體元件并被配置成沿所述引導件移動所述載體元件；

約束件，其聯接到所述載體元件，所述約束件包括第一致動器和制動構件，所述約束件被配置成選擇性地接合所述引導件，以當所述引導件傾斜出所述水平參考平面時，約束所述載體元件沿所述引導件在至少一個方向上的移動；和

第二致動器，其設置在所述約束件和所述載體元件之間，所述第二致動器被配置成當所述約束件與所述引導件接合時，使所述載體元件沿所述引導件相對于所述約束件的第一致動器和制動構件移位。

2.根據權利要求1所述的定位系統，其中：

所述引導件是線性引導件，其還包括：

線性軸承，其包括第一端部和第二端部；且

其中當所述線性軸承傾斜出所述水平參考平面時，所述第二端部沿平行于所述水平參考平面的第一軸線與所述第一端部間隔開，并且所述第二端部沿垂直于所述水平參考平面的第二軸線與所述第一端部間隔開，使得所述第二端部高于所述第一端部。

3.根據權利要求2所述的定位系統，其中：

所述第二致動器和所述約束件定位在所述線性軸承的所述第一端部和所述載體元件之間；且

所述第二致動器被配置成將所述載體元件推向所述線性軸承的所述第二端部。

4.根據權利要求2所述的定位系統，其中所述第二致動器定位在所述載體元件和所述線性軸承的所述第二端部之間，并且被配置成將所述載體元件拉向所述線性軸承的所述第二端部。

5.根據權利要求1所述的定位系統，其中所述系統還包括設置在所述約束件和所述載體元件之間的偏置構件，所述偏置構件被配置成至少每當所述約束件與所述引導件接合時，使所述載體元件偏置于所述第二致動器。

6.根據權利要求5所述的定位系統，其中所述偏置構件被配置成當所述約束件從所述引導件脫離時，使所述約束件朝向所述載體元件移動。

7.根據權利要求1所述的定位系統，其中所述約束件是聯接到所述載體元件的第一端部的第一約束件，并且其中所述系統還包括聯接到所述載體元件的第二端部并且沿所述引導件的縱向軸線與所述第一約束件間隔開的第二約束件。

8.根據權利要求1所述的定位系統，其中所述第二致動器包括可在收縮配置和膨脹配置之間移動的壓電致動器。

9.根據權利要求1所述的定位系統，其中所述引導件是旋轉引導件。

10.一種多束系統，其包括：

掃描電子顯微鏡（SEM）；

離子柱；和

根據權利要求1所述的定位系統，其被設置成選擇性地定位工件以用所述掃描電子顯微鏡進行成像或從所述離子柱接收離子束。