[發(fā)明專利]一種基于光束變換的激光清洗裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010225387.6
• 申請(qǐng)日: 2020-03-26
• 公開（公告）號(hào): CN111420934A
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉曉龍;孫便便;李湧江;孟冬冬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院
• 主分類號(hào): B08B7/00
• 分類號(hào): B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 北京凱特來知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11260
• 代理人: 鄭立明;陳亮

1.一種基于光束變換的激光清洗裝置，其特征在于，所述裝置包括超快激光系統(tǒng)、光束變換系統(tǒng)和掃描振鏡系統(tǒng)，其中：

所述超快激光系統(tǒng)用于發(fā)射超短超快激光光束，提供給所述光束變換系統(tǒng)進(jìn)行光束變換；

所述光束變換系統(tǒng)與所述超快激光系統(tǒng)連接，接收所述超快激光系統(tǒng)發(fā)射的激光光束，并利用各種光學(xué)元件對(duì)入射的超短超快激光光束進(jìn)行光束時(shí)空間強(qiáng)度分布變換，實(shí)現(xiàn)對(duì)激光光束聚焦焦深、聚焦路徑的控制，經(jīng)聚焦后光束在透明介質(zhì)中產(chǎn)生等離子體通道；

所述掃描振鏡系統(tǒng)接收經(jīng)等離子體通道之后的激光光束，利用該激光光束對(duì)待清洗物體進(jìn)行激光清洗。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于光束變換的激光清洗裝置，其特征在于，

所述光束變換系統(tǒng)具體為凹透鏡和圓錐透鏡的組合，用于增長等離子體絲的長度，增大焦深，使非平整表面樣品的最低點(diǎn)和最高點(diǎn)均在焦深范圍內(nèi)，無需對(duì)光束或樣品的位置實(shí)施精確控制即可清洗。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于光束變換的激光清洗裝置，其特征在于，

所述光束變換系統(tǒng)為艾里光束形成系統(tǒng)，具體包括相位板、透鏡和傅里葉平面，利用形成的艾里光束的自彎曲性對(duì)不規(guī)則曲面或凹孔的樣品進(jìn)行清洗。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于光束變換的激光清洗裝置，其特征在于，

所述掃描振鏡系統(tǒng)由X-Y光學(xué)掃描頭、電子驅(qū)動(dòng)放大器和光學(xué)反射鏡片組成，通過電子驅(qū)動(dòng)放大器驅(qū)動(dòng)X-Y光學(xué)掃描頭，在X-Y平面控制入射激光束的偏轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)激光二維平面移動(dòng)。