[發明專利]大面積鈣鈦礦太陽能電池組件用薄膜的涂布裝置及涂布方法

有效

• 申請號: 202010224846.9
• 申請日: 2020-03-26
• 公開（公告）號: CN111282772B
• 公開（公告）日: 2023-09-08
• 發明（設計）人: 楊松旺;陳宗琦;壽春暉;陳薪羽;鄔榮敏;金勝利;黃綿吉;關鍵;劉寒梅;余志勝;俞峰蘋
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海硅酸鹽研究所;浙江天地環保科技股份有限公司;浙江浙能技術研究院有限公司
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C9/14;B05C11/02;B05C11/10;B05D3/02;B05D1/26;B05D1/00;H10K71/12
• 代理公司: 上海瀚橋專利代理事務所(普通合伙) 31261
• 代理人: 曹芳玲

1.一種大面積鈣鈦礦太陽能電池組件用薄膜的涂布裝置，其特征在于，包括：

底座；

涂布平臺，安裝于所述底座上，所述涂布平臺的上表面供固定鈣鈦礦太陽能電池組件的基板；

涂布頭，可沿涂布方向移動地安裝于所述底座上，且所述涂布頭沿垂直于涂布方向設置，所述涂布頭位于所述涂布平臺的上方，供在所述基板的表面涂布用以形成薄膜的溶液；

距離傳感器，設置于所述涂布頭的兩端；涂布時，所述距離傳感器可自動調整所述基板到所述涂布頭的局部間距；

其中，所述涂布頭和所述基板之間的局部間距連續可調；

所述涂布平臺安裝有視覺對位系統，包括互相連接的鏡頭、圖像處理機以及供調整所述涂布平臺位置的電機，通過所述圖像處理機對所述鏡頭獲取的圖像進行處理從而確定所述涂布頭相對于所述基板的位置偏差，并通過所述電機基于所述位置偏差調整涂布平臺位置使得所述基板對齊所述涂布頭；

其中，所述位置偏差是通過在基板上制作標記點，通過對標記點的圖像進行位置運算，可得到基板相對于涂布平臺的實際位置，再通過與預先設定的涂布頭相對于涂布平臺的位置進行對比，得到涂布頭與基板的位置偏差。

2.根據權利要求1所述的大面積鈣鈦礦太陽能電池組件用薄膜的涂布裝置，其特征在于，所述涂布頭的兩端通過涂布頭高度調整器安裝于所述底座從而相對于所述底座高度連續可調，和/或所述涂布平臺在涂布方向上的兩側通過平臺高度調整器安裝于所述底座從而相對于所述底座高度連續可調，以實現所述涂布頭和所述基板之間沿涂布方向上的局部間距的調節。

3.根據權利要求1所述的大面積鈣鈦礦太陽能電池組件用薄膜的涂布裝置，其特征在于，所述涂布頭的兩端通過涂布頭高度調整器安裝于所述底座從而相對于所述底座高度連續可調，和/或所述涂布平臺在垂直于涂布方向上的兩側通過平臺高度調整器安裝于所述底座從而相對于所述底座高度連續可調，以實現所述涂布頭和所述基板之間沿垂直于涂布方向上的局部間距的調節。

4.根據權利要求2或3所述的大面積鈣鈦礦太陽能電池組件用薄膜的涂布裝置，其特征在于，所述涂布頭高度調整器為液壓或絲桿，和/或所述平臺高度調整器為液壓或絲桿。

5.根據權利要求2或3所述的大面積鈣鈦礦太陽能電池組件用薄膜的涂布裝置，其特征在于，所述平臺高度調整器沿所述涂布平臺的邊緣設置。

6.根據權利要求1所述的大面積鈣鈦礦太陽能電池組件用薄膜的涂布裝置，其特征在于，所述底座的兩側沿涂布方向設有滑軌，所述滑軌位于所述涂布平臺的兩側，且所述滑軌上滑設有滑動座，所述滑動座與所述涂布頭的兩端連接，實現所述涂布頭可沿涂布方向移動地安裝于所述底座上。

7.根據權利要求1所述的大面積鈣鈦礦太陽能電池組件用薄膜的涂布裝置，其特征在于，所述涂布平臺安裝有控溫系統，包括布設于部分所述涂布平臺內的加熱器件、分布在所述涂布平臺內部上表面且用于實時監控實測溫度的熱電偶以及連接于所述加熱器件且供控制所述加熱器件開啟關閉的加熱開關。

8.根據權利要求1所述的大面積鈣鈦礦太陽能電池組件用薄膜的涂布裝置，其特征在于，所述距離傳感器為激光傳感器或筆式傳感器。

9.一種根據權利要求1所述的大面積鈣鈦礦太陽能電池組件用薄膜的涂布裝置的涂布方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一：用激光刻蝕機或化學刻蝕法在基板上制作標記點；

步驟二：用清洗液清洗所述基板后吹干；

步驟三：通過真空或機械定位等方式將所述基板置于所述涂布平臺上，設定涂布參數后啟動所述涂布裝置，利用視覺對位系統和所述標記點調整所述基板與所述涂布頭的相對位置，然后進行溶液的涂布，在涂布過程中，所述距離傳感器實時監測所述涂布頭與所述基板之間的局部間距，且所述涂布平臺和/或涂布頭自動調節以使所述涂布頭與所述基板之間的局部間距處處一致，涂布完成后進行熱處理，即在所述基板的表面形成所需的薄膜。