[發明專利]調校及拆裝方便的X、Y方向可調底座機構

在審

• 申請號: 202010224195.3
• 申請日: 2020-03-26
• 公開（公告）號: CN111396701A
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 熊亞俊
• 申請（專利權）人: 深圳市標譜軟件科技有限公司
• 主分類號: F16M11/04
• 分類號: F16M11/04;F16M11/18
• 代理公司: 深圳市金筆知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 44297
• 代理人: 胡清方;彭友華

一種調校及拆裝方便的X、Y方向可調底座機構，包括底座和模組安裝底板，所述模組安裝底板通過至少兩個定位螺絲可在預定范圍內朝前、后、左、右四個方向移動的活動連接在所述底座上；在所述底座的相對于所述模組安裝底板的上底面上設有斜槽，所述斜槽的斜槽中心線的延長線與所述底座的底座中心線相交的夾角α為銳角；在所述斜槽內設有用于調節模組安裝底板左右移動的左右調節機構；在所述底座的底部設有底座前后調節機構和用于鎖定底座的底座鎖定機構。本發明具有通用性好、調節方便和結構簡單的優點。

技術領域

本發明涉及半導體產業用的自動化設備技術領域，尤其是涉及一種模塊化的調校及拆裝方便的X、Y方向可調底座機構。

背景技術

隨著全球半導體工業快速發展，各類半導體元件的需求急劇增加。在半導體產品的自動化生產加工過程中，對設備產能的要求越來越高，因此，對應用于高速運轉的半導體自動化生產設備，對的底座調節機構的精度、速度、模塊化、通用性、維護調試的要求越來越高。

傳統的底座調節機構，一般是采螺絲將調節模組直接固定在工作臺大板上，然后，從前或后調節前后方向，從左或右調節左右方向。這種調節模組存在如下問題，一是通用性不強，根據調節模組的外形尺寸的大小，在工作臺大板面打螺絲孔，然后用螺絲固定，調節模塊不可以根據需要而更換位置；二是調節模塊使用不方便，且精度差；三是拆裝維修不方便，每次都需反復調整位置。

發明內容

為了克服上述問題，發明向社會提供一種通用性強、調節方便和結構簡單的調校及拆裝方便的X、Y方向可調底座機構。

本發明的技術方案是：提供一種調校及拆裝方便的X、Y方向可調底座機構，包括底座和模組安裝底板，所述模組安裝底板通過至少兩個定位螺絲可在預定范圍內朝前、后、左、右四個方向移動的活動連接在所述底座上；在所述底座的相對于所述模組安裝底板的上底面上設有斜槽，所述斜槽的斜槽中心線的延長線與所述底座的底座中心線相交的夾角α為銳角；在所述斜槽內設有用于調節模組安裝底板左右移動的左右調節機構；在所述底座的底部設有底座前后調節機構和用于鎖定底座的底座鎖定機構。

作為對本發明的改進，所述夾角α在8度-15度之間選擇。

作為對本發明的改進，所述左右調節機構包括左右調節塊、左右調節螺桿，所述左右調節螺桿與所述左右調節塊螺紋連接，所述左右調節塊上的凸柱伸在所述模組安裝底板的下底面上的凹槽內；旋轉所述左右調節螺桿可使所述左右調節塊在所述斜槽內往復移動，從而驅動所述模組安裝底板左右移動。

作為對本發明的改進，所述左右調節機構還包括第一限位塊，在所述底座的上底面上設有第一限位塊安裝槽，所述第一限位塊設在所述第一限位塊安裝槽內，所述第一限位塊的第一凹槽抱在所述左右調節螺桿的外端附近。

作為對本發明的改進，所述左右調節機構還包括壓縮彈簧，所述壓縮彈簧套在所述第一限位塊與所述左右調節塊之間的所述左右調節螺桿上。

作為對本發明的改進，所述底座前后調節機構包括前后調節螺桿和帶有斜面的導軌，所述前后調節螺桿與所述底座和所述導軌螺紋連接，旋轉所述前后調節螺桿可使所述底座相對于所述導軌前后移動。

作為對本發明的改進，所述底座鎖定機構包括鎖緊螺桿和帶鎖緊斜面的鎖緊件，所述鎖緊件設在所述鎖緊螺桿上，旋轉鎖緊螺桿，當鎖緊件的鎖緊斜面與所述導軌的斜面平行時，所述導軌與鎖緊螺桿處于解鎖狀態；當鎖緊件的鎖緊斜面與所述導軌的斜面相切時，所述導軌與鎖緊螺桿處于鎖緊狀態。

作為對本發明的改進，所述底座鎖定機構還包括鎖緊構件，所述鎖緊構件包括鎖緊塊和鎖緊頂絲，所述鎖緊塊通過鎖緊半槽抱在所述鎖緊螺桿的中部，所述鎖緊頂絲與底座上的螺孔螺紋連接，所述鎖緊頂絲的內端抵靠在所述鎖緊塊的遠離所述鎖緊半槽的一面上。