[發(fā)明專利]脆性材料基板的截?cái)嘌b置以及切斷系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010220948.3 | 申請日： | 2020-03-25 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN111747639A | 公開（公告）日： | 2020-10-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 江島谷彰 | 申請（專利權(quán)）人： | 三星鉆石工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C03B33/03 | 分類號(hào)： | C03B33/03;C03B33/033 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 劉文海 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 脆性 材料 截?cái)?/a> 裝置 以及 切斷 系統(tǒng) | ||
1.一種截?cái)嘌b置，其是脆性材料基板的截?cái)嘌b置，對形成有刻劃線的脆性材料基板施加應(yīng)力而沿著所述刻劃線從所述脆性材料基板的產(chǎn)品區(qū)域分割邊料區(qū)域，
其中，
所述截?cái)嘌b置具備：
基板移送機(jī)構(gòu)，其保持所述脆性材料基板并進(jìn)行移送；以及
邊料把持機(jī)構(gòu)，其把持所述脆性材料基板的所述邊料區(qū)域，
所述基板移送機(jī)構(gòu)具有保持所述脆性材料基板的基板保持部、以及使保持的所述脆性材料基板繞沿著該脆性材料基板的主面的法線的軸旋轉(zhuǎn)的回旋部，
所述邊料把持機(jī)構(gòu)具有把持所述邊料區(qū)域的把持部，
所述基板保持部與所述把持部設(shè)置為能夠相對地接近或遠(yuǎn)離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的截?cái)嘌b置，其中，
所述邊料把持機(jī)構(gòu)還具有使所述把持部向相對于所述基板移送機(jī)構(gòu)接近或遠(yuǎn)離的方向移動(dòng)的移動(dòng)基座部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的截?cái)嘌b置，其中，
所述基板移送機(jī)構(gòu)設(shè)置為能夠?qū)⒒灞３植肯蛳鄬τ谒鲞吜习殉謾C(jī)構(gòu)接近或遠(yuǎn)離的方向移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的截?cái)嘌b置，其中，
所述基板保持部設(shè)置為吸附所述脆性材料基板的所述產(chǎn)品區(qū)域而進(jìn)行保持。
5.一種切斷系統(tǒng)，其是脆性材料基板的切斷系統(tǒng)，在脆性材料基板形成刻劃線并對形成有所述刻劃線的所述脆性材料基板施加應(yīng)力而沿著所述刻劃線從所述脆性材料基板的產(chǎn)品區(qū)域分割邊料區(qū)域，
其中，
所述切斷系統(tǒng)具備：
刻劃機(jī)構(gòu)，其在所述脆性材料基板形成用于從所述產(chǎn)品區(qū)域分離所述邊料區(qū)域的所述刻劃線；
基板移送機(jī)構(gòu)，其保持所述脆性材料基板并進(jìn)行移送；以及
邊料把持機(jī)構(gòu)，其把持所述脆性材料基板的所述邊料區(qū)域，
所述基板移送機(jī)構(gòu)具有保持所述脆性材料基板的基板保持部、以及使保持的所述脆性材料基板繞沿著該脆性材料基板的主面的法線的軸旋轉(zhuǎn)的回旋部，
所述邊料把持機(jī)構(gòu)具有把持所述邊料區(qū)域的把持部，
所述基板保持部與所述把持部設(shè)置為能夠相對地接近或遠(yuǎn)離。
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