[發明專利]慣性傳感器、電子設備以及移動體

在審

• 申請號: 202010220543.X
• 申請日: 2020-03-25
• 公開（公告）號: CN111751575A
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 瀧澤照夫;田中悟;紙透真一
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 李丹

本發明提供慣性傳感器、電子設備以及移動體。慣性傳感器具有：基板；可動體，相對于所述基板繞所述擺動軸擺動；檢測電極，設置于所述基板，在俯視觀察下與所述可動體重疊；虛設電極，設置于所述基板，在俯視觀察下與所述可動體重疊，與所述可動體同電位；以及突起，設置于所述基板，在俯視觀察下與所述第一可動部重疊，在所述可動體側突出并限制所述可動體的繞所述擺動軸的位移，所述虛設電極位于所述突起與所述檢測電極之間并且被設置為包圍所述突起的周圍的至少一部分，所述突起的與所述可動體的接觸部分由絕緣材料構成。

技術領域

本發明涉及慣性傳感器、電子設備以及移動體。

背景技術

例如，專利文獻1所記載的慣性傳感器具有：可動體，繞擺動軸進行杠桿式擺動；以及第一檢測電極以及第二檢測電極，配置于可動體的正下方處。

在該慣性傳感器中，若施加Z軸方向的加速度，則可動體繞擺動軸進行杠桿式擺動，由此，可動體與第一檢測電極之間的靜電容量以及可動體與第二檢測電極之間的靜電容量以反相變化。因此，能夠基于靜電容量的位移量來檢測Z軸方向的加速度。

另外，在第一、第二檢測電極分別形成有突起，通過使可動體與突起接觸來限制可動體超過突起的位移。

然而，在專利文獻1的慣性傳感器中，檢測電極圍繞突起的周圍，在可動體與檢測電極之間產生電位差。在這種情況下，若可動體粘貼在突起上，則由于可動體與檢測電極之間的電位差所導致的靜電引力，存在粘貼變得難以被解除的可能。

專利文獻1：日本特開2017-146312號公報

發明內容

本實施方式所記載的慣性傳感器具有：基板；可動體，具備隔著擺動軸而配置并且繞所述擺動軸的旋轉力矩相互不同的第一可動部和第二可動部，所述可動體相對于所述基板繞所述擺動軸擺動；檢測電極，設置于所述基板，在俯視觀察下與所述第一可動部重疊；虛設電極，設置于所述基板，在俯視觀察下與所述第一可動部重疊，與所述可動體同電位；以及突起，設置于所述基板，在俯視觀察下與所述第一可動部重疊，在所述可動體側突出并限制所述可動體的繞所述擺動軸的位移，所述虛設電極位于所述突起與所述檢測電極之間并且被設置為包圍所述突起的周圍的至少一部分，所述突起的與所述可動體的接觸部分由絕緣材料構成。

附圖說明

圖1表示根據第一實施方式的慣性傳感器的俯視圖。

圖2是圖1中的A-A線剖面圖。

圖3是圖1中的B-B線剖面圖。

圖4是圖1中的C-C線剖面圖。

圖5是圖1的慣性傳感器的俯視圖。

圖6是表示圖1的慣性傳感器的變形例的俯視圖。

圖7是表示根據第二實施方式的慣性傳感器的剖面圖。

圖8是表示根據第二實施方式的慣性傳感器的剖面圖。

圖9是表示根據第三實施方式的慣性傳感器的剖面圖。

圖10是表示根據第三實施方式的慣性傳感器的剖面圖。

圖11是表示根據第四實施方式的慣性傳感器的剖面圖。

圖12是表示根據第四實施方式的慣性傳感器的剖面圖。

圖13是表示根據第五實施方式的慣性傳感器的俯視圖。

圖14是表示根據第六實施方式的智能手機的俯視圖。

圖15是表示根據第七實施方式的慣性測量裝置的分解立體圖。

圖16是表示具有圖15所示的慣性測量裝置的基板的立體圖。