[發明專利]一種蒸鍍裝置及蒸鍍方法

在審

• 申請號: 202010219586.6
• 申請日: 2020-03-25
• 公開（公告）號: CN111270204A
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 王浩;祝曉釗;朱凱;梁艦;王徐亮
• 申請（專利權）人: 江蘇集萃有機光電技術研究所有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本發明涉及薄膜成型技術領域，尤其涉及一種蒸鍍裝置及蒸鍍方法。該蒸鍍裝置包括儲料機構、送料機構和蒸發機構，儲料機構包括儲料腔體和儲料加熱單元，儲料腔體的上端和下端分別設置有儲料進料口和儲料出料口，儲料加熱單元用于將固體材料加熱至熔融態。送料機構包括連通器和送料加熱單元，連通器的一端與儲料出料口相連通，送料加熱單元加熱連通器內的熔融態材料。蒸發機構包括蒸發腔體，蒸發腔體的下端設置有與連通器的另一端相連通的蒸發進料口，蒸發腔體的上端設置有蒸發出料口，熔融態材料轉化為氣態，并從蒸發出料口排出，在此過程中，連通器一直處于動態平衡狀態，確保材料不會長時間高溫裂解，且能保證不開腔持續批量生產。

技術領域

本發明涉及薄膜成型技術領域，尤其涉及一種蒸鍍裝置及蒸鍍方法。

背景技術

目前，有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode，簡稱OLED)又稱為有機電激光顯示，通常采用蒸鍍設備制備OLED屏。蒸鍍設備通過將有機材料和金屬材料加熱，并使之氣化蒸發，以實現在玻璃基板上形成鍍膜。OLED材料加熱后有兩類情況，第一類是直接升華，第二類是先熔化再蒸發。

針對第二類先熔化再蒸發的材料，通常是對整個坩堝內的材料進行加熱。然而長期的高溫環境對材料的穩定性要求很高，在高溫環境下對材料進行長時間的高溫加熱，容易造成材料的裂解，變質等，進而降低產品的良率和可靠性。此外，在蒸鍍過程中，傳統的補料方法為固定時間間隔定時補料，但由于蒸汽的產生和消耗受加熱溫度的影響較大，現有的補料方法不能夠滿足實際工況需求，容易造成缺料停機，嚴重影響工作效率。

因此，亟待需要一種針對第二類有機蒸發材料進行處理的蒸鍍裝置以解決上述問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種蒸鍍裝置，以解決現有技術中在蒸鍍過程中材料容易裂解變質以及不能實時補料，以及材料在坩堝或線源中的因余量變化帶來吸熱量變化導致的加熱部件功率和蒸鍍速率控制復雜等問題。

為實現上述目的，提供以下技術方案：

一種蒸鍍裝置，包括：

儲料機構，包括儲料腔體和儲料加熱單元，所述儲料腔體的上端設置有儲料進料口，所述儲料腔體的下端設置有儲料出料口，所述儲料腔體用于盛放待添加的固體材料，所述儲料加熱單元用于將所述固體材料加熱至熔融態；

送料機構，包括連通器和送料加熱單元，所述連通器的一端與所述儲料出料口相連通以使所述熔融態材料能夠流入所述連通器，所述送料加熱單元用于將所述連通器內的所述熔融態材料加熱保持溫度均勻；

蒸發機構，包括蒸發腔體，所述蒸發腔體的下端設置有與所述連通器的另一端相連通的蒸發進料口，所述蒸發腔體的上端設置有蒸發出料口，所述送料機構輸送來的材料能夠進入所述蒸發腔體并轉化為氣態，所述氣態材料從所述蒸發出料口排出。

作為蒸鍍裝置的優選方案，所述儲料腔體的出料口形狀為上寬下窄的筒狀，所述儲料出料口設置在所述儲料腔體的縮口端。

作為蒸鍍裝置的優選方案，所述儲料加熱單元包括加熱件，所述加熱件設置在所述儲料出料口處，用于將所述儲料出料口處的固體材料加熱至熔融態，以控制出料口的進料能力。

作為蒸鍍裝置的優選方案，所述加熱件為加熱網，所述加熱網設置在所述儲料出料口處且其外壁與所述儲料出料口的內壁固定連接，所述熔融態材料能夠通過所述加熱網上的網孔流入所述連通器。

作為蒸鍍裝置的優選方案，所述加熱件為加熱板，所述加熱板上設置有漏料孔，所述加熱板設置在所述儲料出料口處且其外壁與所述儲料出料口的內壁固定連接，所述熔融態材料能夠通過所述加熱板上的漏料孔流入所述連通器。

作為蒸鍍裝置的優選方案，所述漏料孔設置有擋片和驅動機構，所述驅動機構能夠控制所述擋片遮擋所述漏料孔，以控制所述漏料孔的大小。