[發明專利]存儲容器及供應系統

在審

• 申請號: 202010218909.X
• 申請日: 2020-03-25
• 公開（公告）號: CN113443279A
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 董佳仁
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B65D83/00
• 分類號: B65D83/00;B65D47/06
• 代理公司: 上海晨皓知識產權代理事務所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

本發明實施例提供一種存儲容器及供應系統，存儲容器包括：側壁部、封口部和可移動部件；側壁部、封口部以及可移動部件圍成容納空間；封口部適于密封側壁部的頂部，且封口部上具有與容納空間連通的孔洞，孔洞用于連接出液管道的進液端；可移動部件適于密封側壁部的底部，且還適于沿平行于側壁部的底部指向頂部的方向上下移動。可移動部件用于連接控制裝置，控制裝置控制可移動部件于側壁部的底部指向頂部的方向上下移動，以將容納空間內的光刻膠通過孔洞排出。通過可移動部件平行于側壁部的底部指向頂部的方向上下移動，改變容納空間的容積，進而使光刻膠從封口部中的孔洞被壓出，避免可光刻膠與空氣的接觸，從而避免了有氣體溶解在光刻膠中。

技術領域

本發明涉及半導體制程工藝領域，特別涉及一種存儲容器及供應系統。

背景技術

光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料，特別是近年來大規模和超大規模集成電路的發展，更是大大促進了光刻膠的研究開發和應用。目前，在半導體制程工藝中對光刻膠的取用是通過氣體將光刻膠從存儲容器中壓出。

然而，發明人發現通過氣體將光刻膠從儲存容器中壓出的過程中，氣體會溶解在光刻膠中，使得光刻膠中產生氣泡，這些氣泡會導致光刻膠在涂敷過程中出現異常。

發明內容

本發明實施例提供一種存儲容器及供應系統，避免光刻膠與空氣的接觸，從而避免了有氣體溶解在光刻膠中。

為解決上述技術問題，本發明的實施例提供了一種存儲容器，用于容納和取出光刻膠，包括：側壁部、封口部和可移動部件；側壁部、封口部以及可移動部件圍成容納空間；封口部適于密封側壁部的頂部，且封口部上具有與容納空間連通的孔洞，孔洞用于連接出液管道的進液端；可移動部件適于密封側壁部的底部，且還適于沿平行于側壁部的底部指向頂部的方向上下移動。可移動部件用于連接控制裝置，控制裝置控制可移動部件于側壁部的底部指向頂部的方向上下移動，以將容納空間內的光刻膠通過孔洞排出。

相對于現有技術而言，本發明實施例提供了一種新的用于容納和取出光刻膠的存儲容器，通過可移動部件平行于側壁部的底部指向頂部的方向上下移動，使得側壁部、封口部以及可移動部件圍成容納空間變小，從而使光刻膠從封口部中的孔洞被壓出，避免可光刻膠與空氣的接觸，從而避免了有氣體溶解在光刻膠中，解決了現有技術中溶解在光刻膠中的氣泡會導致光刻膠在涂敷過程中出現異常。

另外，控制裝置集成在可移動部件中。

另外，可移動部件用于連接控制裝置，控制裝置控制可移動部件于側壁部的底部指向頂部的方向上下移動，包括：存儲容器還包括推動桿，推動桿用于連接控制裝置；控制裝置通過移動推動桿，推動可移動部件于側壁部的底部指向頂部的方向上下移動。

另外，可移動部件用于連接控制裝置，控制裝置控制可移動部件于側壁部的底部指向頂部的方向上下移動，包括：可移動部件包括密封部和支撐桿；密封部或支撐桿用于連接控制裝置，控制裝置控制密封部于側壁部的底部指向頂部的方向上下移動。

另外，密封部固定在支撐桿頂部；支撐桿連接控制裝置，控制裝置用于控制支撐桿帶動密封部于側壁部的底部指向頂部的方向上下移動。

另外，支撐桿上具有螺旋紋或卡口，控制裝置具有與支撐桿上吻合的螺旋紋或卡口；控制裝置通過螺旋紋控制支撐桿旋轉，使支撐桿于側壁部的底部指向頂部的方向上下移動；或，控制裝置通過卡口，控制支撐桿于側壁部的底部指向頂部的方向上下移動。

另外，存儲容器還包括固定部，固定部位于側壁部的底部邊緣，固定部用于，使支撐桿平行于側壁部的底部指向頂部方向固定在于存儲容器內；密封部可移動地設置在支撐桿上；密封部用于連接控制裝置，控制裝置用于控制密封部，使密封部于側壁部的底部指向頂部的方向上下移動。