[發(fā)明專利]將護(hù)膜置于光掩模上的設(shè)備與將護(hù)膜置于光掩模上的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010218633.5
• 申請(qǐng)日: 2020-03-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111856873A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉子漢;溫志偉;林重宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F1/62
• 分類號(hào): G03F1/62
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 李春秀

1.一種將護(hù)膜設(shè)置于光掩模上的設(shè)備，其包括：

蓋，其具有第一側(cè)及與所述第一側(cè)相對(duì)的第二側(cè)，其中所述第二側(cè)面對(duì)所述光掩模；及

氣墊，其置于所述第一側(cè)與所述第二側(cè)之間，其中所述氣墊包括填充空氣的氣室。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括置于所述氣墊與所述光掩模之間的多個(gè)銷。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中所述多個(gè)銷從所述第二側(cè)突出穿過(guò)所述蓋的所述第二側(cè)處的多個(gè)孔徑。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其中所述多個(gè)孔徑的布置對(duì)應(yīng)于所述氣墊的形狀。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中所述多個(gè)銷經(jīng)布置成四邊形形狀。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括穿透所述蓋的所述第一側(cè)的氣體入口。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括所述蓋的所述第一側(cè)上方的按壓器，其中所述按壓器經(jīng)設(shè)置以在所述蓋的所述第一側(cè)上方施加應(yīng)力。

8.一種將護(hù)膜設(shè)置于光掩模上的設(shè)備，其包括：

蓋，其具有第一側(cè)及與所述第一側(cè)相對(duì)的第二側(cè)，其中所述第二側(cè)面對(duì)所述光掩模；及

氣體入口，其在所述蓋的所述第一側(cè)上。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括放置于所述蓋的所述第一側(cè)與所述第二側(cè)之間的氣墊，其中所述氣墊包括氣室。

10.一種將護(hù)膜置于光掩模上的方法，其包括：

將墊放置至具有第一側(cè)及與所述第一側(cè)相對(duì)的第二側(cè)的蓋中，其中所述墊包括氣室；

將氣體供應(yīng)至所述氣室中；及

在所述蓋上施加應(yīng)力。