[發明專利]一種鎢絲繩晃晶測試系統及其方法

在審

• 申請號: 202010218264.X
• 申請日: 2020-03-25
• 公開（公告）號: CN111238414A
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 符云舒;趙杰;魏利強
• 申請（專利權）人: 寶雞志普有色金屬加工有限公司
• 主分類號: G01B11/27
• 分類號: G01B11/27;G01B11/26
• 代理公司: 西安新動力知識產權代理事務所(普通合伙) 61245
• 代理人: 劉強

1.一種鎢絲繩晃晶測試系統，其特征在于，包括長晶模擬機構和測量反饋機構；其中，所述長晶模擬機構用于模擬鎢絲繩及重錘在單晶硅生長過程中的懸掛轉動模式；測量反饋機構包括采集模塊、測量模塊和顯示模塊，其中，采集模塊用于獲取鎢絲繩及重錘轉動過程中的圖像，并將圖像放大通過顯示模塊顯示；測量模塊用于測量轉動中重錘的軸心偏移量，并將軸心偏移量通過顯示模塊顯示。

2.根據權利要求1所述的鎢絲繩晃晶測試系統，其特征在于，所述長晶模擬機構包括設置于高處的電機(1)，所述電機(1)上吊掛有鎢絲繩(2)，鎢絲繩(2)上配套安裝有重錘(3)。

3.根據權利要求2所述的鎢絲繩晃晶測試系統，其特征在于，所述采集模塊包括攝像頭(4)，所述攝像頭(4)用于拍攝電機(1)旋轉后鎢絲繩(2)及重錘(3)轉動圖像。

4.根據權利要求3所述的鎢絲繩晃晶測試系統，其特征在于，所述攝像頭(4)為CCD高頻捕捉攝像頭。

5.根據權利要求3所述的鎢絲繩晃晶測試系統，其特征在于，所述測量模塊包括位移傳感器(5)，位移傳感器(5)用于測量轉動中鎢絲繩和重錘的軸心偏移量，并且記錄后并生成曲線，用于記錄鎢絲繩晃動量和偏移情況，以反饋其直線度和垂直度性能。

6.根據權利要求5所述的鎢絲繩晃晶測試系統，其特征在于，所述位移傳感器(5)為紅外位移傳感器。

7.一種基于權利要求1-6任一項權利要求所述的鎢絲繩晃晶測試系統的測試方法，其特征在于，包括：

1)、將長晶模擬機構設置完成，通過測量模塊測量靜止重錘時的距離，并將測距歸零；

2)、啟動長晶模擬機構，使得鎢絲繩及重錘均速轉動，并通過采集模塊獲取鎢絲繩及重錘轉動過程中的圖像，并將圖像放大通過顯示模塊顯示；測量模塊測量轉動中重錘的軸心偏移量；

3)、實時記錄測量的軸心偏移量，并將重錘的軸心偏移量生成曲線，用于記錄鎢絲繩系統晃動量和偏移情況，以反饋其直線度和垂直度性能。

8.根據權利要求7所述的基于鎢絲繩晃晶測試系統的測試方法，其特征在在于，所述采集模塊、測量模塊以及顯示模塊均安裝于控制臺上。

9.根據權利要求7所述的基于鎢絲繩晃晶測試系統的測試方法，其特征在于，所述鎢絲繩及重錘均速轉動速率為3n/min～20n/min。