[發明專利]探針間距校準方法、接觸電阻率和界面電阻率的測試方法有效
| 申請號： | 202010216545.1 | 申請日： | 2020-03-25 |
| 公開（公告）號： | CN111487465B | 公開（公告）日： | 2022-08-26 |
| 發明（設計）人： | 胡曉凱 | 申請（專利權）人： | 桂林電子科技大學 |
| 主分類號： | G01R27/02 | 分類號： | G01R27/02;G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京友聯知識產權代理事務所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 尚志峰;王淑梅 |
| 地址： | 541004 廣西*** | 國省代碼： | 廣西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 間距 校準 方法 接觸 電阻率 界面 測試 | ||
1.一種接觸電阻率的測試方法，用于塞貝克系數與體電阻率測試儀，其特征在于，包括：
利用探針間距的校準方法，確定任一預設間距相對應的實際間距；
將所述探針之間的間距調整為多個不同的所述預設間距，獲取任一所述預設間距下測量第二樣品所得的第二電阻；
根據多個所述第二電阻以及所述預設間距相對應的所述實際間距，確定所述第二電阻與所述實際間距之間的第二線性關系；
根據第一預設公式推導出所述第二電阻與所述實際間距之間的第二數學關系式；
根據所述第二線性關系與所述第二數學關系式之間的對應關系，確定所述第二樣品的界面電阻；
根據第二預設公式和所述界面電阻確定所述第二樣品的接觸電阻率；
所述探針間距的校準方法，包括：
將所述探針之間的間距調整為多個不同的所述預設間距，獲取任一所述預設間距下測試第一樣品所得的第一電阻；
根據多個所述預設間距以及相對應的所述預設間距下所測得的所述第一電阻確定所述第一電阻與所述預設間距之間的第一線性關系；
根據第一預設公式推導出所述第一電阻與所述預設間距之間的第一數學關系式；
根據所述第一線性關系與所述第一數學關系式之間的對應關系，確定所述探針的間距誤差；
根據所述預設間距與所述間距誤差確定所述探針的所述實際間距。
2.根據權利要求1所述的接觸電阻率的測試方法，其特征在于，所述根據所述第二線性關系與所述第二數學關系式之間的對應關系，確定所述第二樣品的界面電阻的步驟，具體包括：
所述第二線性關系的斜率等于所述第二數學關系式的第二斜率；
所述第二線性關系的截距等于所述第二數學關系式的第二截距；
根據所述第二數學關系式確定所述界面電阻。
3.根據權利要求1所述的接觸電阻率的測試方法，其特征在于，所述將所述預設間距調整為多個不同距離，獲取任一所述預設間距下測量第二樣品所得的第二電阻的步驟，具體包括：
多個不同的所述預設間距分別為4mm、6mm和8mm；
以所述預設間距為4mm、6mm和8mm分別測試所述第二樣品的所述第二電阻。
4.根據權利要求2所述的接觸電阻率的測試方法，其特征在于，
所述第一預設公式為
所述第二數學關系式為：
其中，R2為所述第二電阻，Li為所述實際間距，ρ2為所述第二樣品的電阻率，A2為所述第二樣品的橫截面積，Ri為所述界面電阻，t為所述第二樣品的焊接層厚度，為所述第二斜率，為所述第二截距。
5.根據權利要求1所述的接觸電阻率的測試方法，其特征在于，所述第二預設公式為：
ρc＝0.5Ri×A2；
其中，ρc為所述接觸電阻率，Ri為所述界面電阻，A2為所述第二樣品的橫截面積。
6.根據權利要求1所述的接觸電阻率的測試方法，其特征在于，所述根據所述第一線性關系與所述第一數學關系式之間的對應關系，確定所述探針的間距誤差的步驟，具體包括：
所述第一線性關系的斜率等于所述第一數學關系式的第一斜率；
所述第一線性關系的截距等于所述第一數學關系式的第一截距；
根據所述第一數學關系式確定所述探針的間距誤差。
7.根據權利要求1所述的接觸電阻率的測試方法，其特征在于，所述將所述探針之間的間距調整為多個不同的預設間距，獲取任一所述預設間距下測試第一樣品所得的第一電阻的步驟，具體包括：
多個不同的所述預設間距分別為4mm、6mm和8mm；
以所述預設間距為4mm、6mm和8mm分別測試所述第一樣品的所述第一電阻。
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