[發明專利]一種薄膜器件

在審

• 申請號: 202010216021.2
• 申請日: 2020-03-25
• 公開（公告）號: CN111285620A
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 四川猛犸半導體科技有限公司
• 主分類號: C03C17/36
• 分類號: C03C17/36;C03C27/12;B32B17/10
• 代理公司: 廈門市精誠新創知識產權代理有限公司 35218
• 代理人: 方惠春

本發明公開了一種薄膜器件，包括依次層疊的基板、膜層組件、頂層電介質膜層和保護膜層，膜層組件包括沿基板向外依次層疊的電介質膜層、銀膜層和犧牲膜層，或膜層組件包括沿基板向外依次層疊的電介質膜層、犧牲膜層和銀膜層，膜層組件還包括Nb膜層和GaNb膜層，Nb膜層和GaNb膜層層疊在銀膜層與犧牲膜層之間或銀膜層與電介質膜層之間；或Nb膜層和GaNb膜層層疊在銀膜層與犧牲膜層之間，同時Nb膜層和/或GaNb膜層層疊在銀膜層與電介質膜層之間，GaNb界面膜層中Ga的含量78at％。本發明可以提高膜系在高溫熱處理的穩定性，又可提高該薄膜器件的化學穩定性和改善其機械性能，且具有高的可見光透過率、低的電阻。

技術領域

本發明屬于薄膜器件技術領域，具體地涉及一種可進行高溫熱處理的薄膜器件。

背景技術

普通的玻璃沒有隔熱功能，隨著人們節能意識的增強，現在很多建筑物或汽車都已使用鍍膜玻璃(薄膜器件)，這些鍍膜玻璃可以起到很好的隔熱效果，使建筑物內部或車內的舒適度增加。

太陽能電池是用于通過陽光直接生成電流的光伏元件。由于對清潔能源的需求不斷增加，最近幾年太陽能電池的制造已經大幅擴大并且還在持續擴大。由于透明導電氧化物膜作為透明涂層和電極的多功能性，其在太陽能電池中得到廣泛使用。在許多情況下，通過增加透明導電氧化物膜的摻雜物降低電阻導致不期望的透明度的降低，同時透明導電氧化物膜在進行高溫熱處理后，其一些性能會出現下降。還有為了進一步降低透明導電氧化物膜的電阻，則需要更厚的膜層，這會導致膜層的透過率降低、膜層的應力增大而導致膜層的不穩定性增加，也增加了膜層的制造成本。

在太陽能電池、建筑及汽車等應用領域所使用的薄膜器件，其在制備過程都需要經受高溫熱處理，因此要求該薄膜器件能夠耐受高溫熱處理，同時具備高的可見光透過率、低的電阻、良好的抗機械性能及高的穩定性等，但現有的薄膜器件無法滿足該要求，有必要對其進行改進。

發明內容

本發明的目的在于提供一種可以提高膜系在高溫熱處理的穩定性，又可提高該薄膜器件的化學穩定性和改善其機械性能，且具有高的可見光透過率、低的電阻的薄膜器件用以解決上述存在的技術問題。

為實現上述目的，本發明采用的技術方案為：一種薄膜器件，包括依次層疊的基板、膜層組件、頂層電介質膜層和保護膜層，所述膜層組件包括沿基板向外依次層疊的電介質膜層、銀膜層和犧牲膜層，或所述膜層組件包括沿基板向外依次層疊的電介質膜層、犧牲膜層和銀膜層，所述膜層組件還包括Nb膜層和GaNb膜層，所述Nb膜層和GaNb膜層層疊在銀膜層與犧牲膜層之間或銀膜層與電介質膜層之間；或所述Nb膜層和GaNb膜層層疊在銀膜層與犧牲膜層之間，同時所述Nb膜層和/或GaNb膜層層疊在銀膜層與電介質膜層之間，所述GaNb膜層中Ga的含量78at％。

進一步的，所述GaNb膜層中Ga的含量50at％。

更進一步的，所述GaNb膜層中Ga的含量20at％。

進一步的，所述Nb膜層中含有氧；所述GaNb膜層中含有氮。

進一步的，所述Nb膜層的厚度≤10nm，優選厚度≤5nm；所述GaNb膜層的厚度為0.05-10nm，優選厚度為1-8nm。

進一步的，所述的犧牲膜層的材料為NiCr、Ti、NiCrO_x、Cr、NiCrMo、CrO_x、MoO_x、TiMo、TiMoO_x、NiTi、TiO_x和NiTiO_x中的任意一種或它們的任一組合。

進一步的，所述的犧牲膜層的厚度為0.1-8nm，優選厚度為1-5nm。

進一步的，所述膜層組件的數量為兩個，兩個膜層組件依次層疊設置。

進一步的，所述膜層組件的數量為三個，三個膜層組件依次層疊設置。