[發明專利]一種形成電致變色器件膜層微結構的方法及電致變色器件

有效

• 申請號: 202010215899.4
• 申請日: 2020-03-24
• 公開（公告）號: CN111290186B
• 公開（公告）日: 2022-10-18
• 發明（設計）人: 王群華;劉江;吉順青
• 申請（專利權）人: 江蘇繁華應材科技股份有限公司;南通繁華新材料科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1524
• 分類號: G02F1/1524;C23C14/35;C23C14/06
• 代理公司: 上海漢盛律師事務所 31316
• 代理人: 王崢

1.一種形成電致變色器件膜層微結構的方法，其特征在于，包括：

將靶材與外界空氣隔離，所述靶材包括第一靶材和第二靶材；

將所述第一靶材以惰性氣體摻雜氧氣與附加氣體進行反應濺射，在第一導電層上形成第一電致變色層；

在所述第一電致變色層上形成離子傳導層；

將所述第二靶材以所述惰性氣體摻雜氧氣與附加氣體進行反應濺射，在所述離子傳導層上形成第二電致變色層；

在所述第二電致變色層上形成第二導電層；

所述附加氣體包括含氦氣體。

2.根據權利要求1所述的形成電致變色器件膜層微結構的方法，其特征在于，在沉積所述第一電致變色層和所述第二電致變色層時，沉積設備的濺射功率為0.3至50瓦/cm²；反應壓力為0.5帕至20帕；所述附加氣體與氧氣的摩爾比例為(0.1～5):1。

3.根據權利要求1或2任一項所述的形成電致變色器件膜層微結構的方法，其特征在于，所述附加氣體還包括：氫氣。

4.根據權利要求3所述的形成電致變色器件膜層微結構的方法，其特征在于，所述附加氣體還包括：含氮氣體，所述含氮氣體包括由以下一種或多種氣體所組成的群組：氨氣、一氧化氮、二氧化氮、氧化二氮、氟化氮。

5.根據權利要求1或2任一項所述的形成電致變色器件膜層微結構的方法，其特征在于，所述第一靶材包括以下一種或多種材料或它們的氧化物組成的群組：鎢、鉬、鈮、鈦、鉭。

6.根據權利要求1或2所述的形成電致變色器件膜層微結構的方法，其特征在于，所述第二靶材包括以下一種或多種材料或它們的氧化物組成的群組：鎳、銥、鈷、錳、鎢。

7.一種電致變色器件，其特征在于，包括基底、第一導電層、第一電致變色層、離子傳導層、第二電致變色層和第二導電層；

所述第一導電層被堆疊在所述基底上，所述第一電致變色層被堆疊在所述第一導電層上，所述離子傳導層被堆疊在所述第一電致變色層上，所述第二電致變色層被堆疊在所述離子傳導層上，所述第二導電層被堆疊在所述第二電致變色層上；

其中，所述第一電致變色層和所述第二電致變色層為包括多晶結構通道壁和非晶結構通道芯的金屬氧化物沉積鍍膜，所述通道壁沿所述第一電致變色層往所述第二電致變色層的方向延伸。

8.根據權利要求7所述的電致變色器件，其特征在于，所述第一電致變色層和所述第二電致變色層中還包含氫。

9.根據權利要求8所述的電致變色器件，其特征在于，所述第一電致變色層和所述第二電致變色層中氫摩爾含量不超過4％。

10.根據權利要求7或8任一項所述的電致變色器件，其特征在于，所述第一電致變色層和所述第二電致變色層中還包括氮。

11.根據權利要求10所述的電致變色器件，其特征在于，所述第一電致變色層的氮摩爾含量為0.05％至20％，所述第二電致變色層的氮摩爾含量為0.05％至15％。

12.根據權利要求7或8任一項所述的電致變色器件，其特征在于，所述第一電致變色層中包括陰極著色材料，所述第二電致變色層中包括陽極著色材料。

13.根據權利要求12所述的電致變色器件，其特征在于，所述陰極著色材料選自由以下所組成的群組的一種或多種材料：氮氧化鎢、氮氧化鉬、氮氧化鈮、氮氧化鈦、氮氧化鉭；所述陽極著色材料選自由以下所組成的群組的一種或多種材料：氮氧化鎳、氮氧化銥、氮氧化錳、氮氧化鈷、氮氧化鎢鎳、氮氧化鎢銥、氮氧化鎢錳、氮氧化鎢鈷。