[發明專利]保持具、定位裝置、以及劃線裝置在審
| 申請號： | 202010213747.0 | 申請日： | 2020-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN111825322A | 公開（公告）日： | 2020-10-27 |
| 發明（設計）人： | 西尾仁孝 | 申請（專利權）人： | 三星鉆石工業股份有限公司 |
| 主分類號： | C03B33/02 | 分類號： | C03B33/02;C03B33/023;C03B33/10 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 張晶;謝順星 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 保持 定位 裝置 以及 劃線 | ||
【權利要求書】：
1.一種保持具，其用于保持作為加工對象的基板，其中，所述保持具具備：
保持部件，其保持所述基板；
定位部，其進行所述保持部件中的所述基板的定位；以及
夾緊部件，其將定位于所述定位部的所述基板夾緊于所述保持部件。
2.根據權利要求1所述的保持具，其特征在于，
在所述保持部件上形成有開口。
3.一種定位裝置，其具備：
固定部件，其能夠在規定的平面內移動及旋轉；以及
保持具，其具有：保持部件，其固定于所述固定部件，并保持基板；定位部，其進行所述保持部件中的所述基板的定位；以及夾緊部件，其將定位于所述定位部的所述基板夾緊于所述保持部件。
4.一種劃線裝置，其具備：
定位裝置，其具有：固定部件，其能夠在規定的平面內移動及旋轉；以及保持具，其具有：保持部件，其固定于所述固定部件，并保持基板；定位部，其進行所述保持部件中的所述基板的定位；以及夾緊部件，其將定位于所述定位部的所述基板夾緊于所述保持部件；以及
劃線機構，其設置在保持于所述保持具的基板的上表面側和/或下表面側。
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