[發明專利]電鏡樣品前處理設備

在審

• 申請號: 202010213542.2
• 申請日: 2020-03-24
• 公開（公告）號: CN111272792A
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 張小波;常正凱;張增雄
• 申請（專利權）人: 深圳市速普儀器有限公司
• 主分類號: G01N23/2202
• 分類號: G01N23/2202;G01N23/2005;G01N1/34
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 陳秀麗

1.一種電鏡樣品前處理設備，其特征在于，包括處理箱、射頻離子源、氣路系統及真空泵組；所述處理箱內設有樣品腔室；所述射頻離子源連接處理箱并與樣品腔室連通；所述氣路系統連接射頻離子源，所述氣路系統為射頻離子源提供所需的氣源；所述真空泵組連接處理箱并與所述樣品腔室連通，所述真空泵組用于對所述樣品腔室及所述射頻離子源抽真空。

2.根據權利要求1所述的電鏡樣品前處理設備，其特征在于，還包括隔板，所述隔板安裝在所述樣品腔室內，以將所述樣品腔室分隔成強處理區及弱處理區。

3.根據權利要求1所述的電鏡樣品前處理設備，其特征在于，還包括射頻電源，所述射頻電源連接所述射頻離子源以對所述射頻離子源進行供電。

4.根據權利要求1所述的電鏡樣品前處理設備，其特征在于，還包括透射樣品桿連接管，所述透射樣品桿連接管連接所述處理箱，且所述透射樣品桿連接管內與所述樣品腔室連通。

5.根據權利要求4所述的電鏡樣品前處理設備，其特征在于，所述透射樣品桿連接管的數量為多個，多個透射樣品桿連接管并列間隔設置。

6.根據權利要求4所述的電鏡樣品前處理設備，其特征在于，所述射頻離子源與所述處理箱的一側壁連接，所述透射樣品桿連接管與所述處理箱遠離所述射頻離子源的一側壁連接。

7.根據權利要求6所述的電鏡樣品前處理設備，其特征在于，還包括第一法蘭及第二法蘭，所述射頻離子源的一端通過所述第一法蘭與所述處理箱的側壁固定連接；所述透射樣品桿連接管的一端通過所述第二法蘭與所述處理箱的側壁固定連接。

8.根據權利要求1所述的電鏡樣品前處理設備，其特征在于，所述處理箱上設有觀察窗口，所述觀察窗口連通所述樣品腔室。

9.根據權利要求1所述的電鏡樣品前處理設備，其特征在于，所述處理箱包括箱體及上蓋，所述樣品腔室設于箱體內，所述箱體上設有連通樣品腔室的開口，所述上蓋蓋合在所述開口上。

10.根據權利要求9所述的電鏡樣品前處理設備，其特征在于，所述處理箱還包括鉸鏈及鎖緊組件，所述鉸鏈連接所述箱體的一端及所述上蓋的一端，所述鎖緊組件設于所述箱體遠離所述鉸鏈的一端，所述鎖緊組件用于將上蓋鎖緊在所述箱體上。