[發明專利]三維手性結構及制備方法

在審

• 申請號: 202010212661.6
• 申請日: 2020-03-24
• 公開（公告）號: CN111399094A
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 西安柯萊特信息科技有限公司
• 主分類號: G02B5/00
• 分類號: G02B5/00;C23C14/14;C23C14/30;G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種三維手性結構，其特征在于，所述三維手性結構包括：基底、柱體陣列模板和金屬結構；所述柱體陣列模板設置在所述基底上，所述柱體陣列模板中每個柱體結構遠離所述基底的一端均蒸鍍有兩個所述金屬結構，其中，每個所述金屬結構包裹所述柱體陣列模板中的柱體結構的同一個交點的三條棱。

2.根據權利要求1所述的三維手性結構，其特征在于，所述三維手性結構中一個周期內有兩個形狀不同的柱狀結構。

3.根據權利要求1所述的三維手性結構，其特征在于，所述三維手性結構中一個周期內有兩個高度不同的柱狀結構。

4.根據權利要求1所述的三維手性結構，其特征在于，所述三維手性結構還包括包裹層，所述包裹層設置在所述三維手性結構的柱體的側面，并且所述包裹層包裹所述三維手性結構的柱體側面一圈。

5.一種三維手性結構的制備方法，應用于權利要求1-4任意一項所述的三維手性結構的制備，其特征在于，所述制備方法包括：

使用電子束在基底上曝光刻蝕方形周期孔洞陣列；

使用電子束蒸發鍍膜儀在所述方形周期孔洞陣列中的孔洞中垂直蒸鍍介質材料，得到蒸鍍后的柱狀陣列模板；

使用電子束蒸發鍍膜儀在所述柱狀陣列模板中的柱狀結構上蒸鍍兩次金屬材料，得到帶有金屬結構的三維手性結構。

6.根據權利要求5所述的三維手性結構的制備方法，其特征在于，所述使用電子束蒸發鍍膜儀在所述方形周期孔洞陣列中的孔洞中垂直蒸鍍介質材料，得到蒸鍍后的柱狀陣列模板步驟包括：

使用電子束蒸發鍍膜儀在所述方形周期孔洞陣列中的孔洞中垂直蒸鍍二氧化硅，得到二氧化硅結構；

將所述二氧化硅結構放入預設溶液中侵泡，得到除膠的柱狀陣列模板。

7.根據權利要求5所述的三維手性結構的制備方法，其特征在于，所述使用電子束蒸發鍍膜儀在所述柱狀陣列模板中的柱狀結構上蒸鍍兩次金屬材料，得到三維手性結構的步驟包括：

將所述電子束蒸發鍍膜儀保持與所述柱狀陣列模板中的柱狀結構的方位角為45度，傾斜角為30度使用金屬材料進行第一次蒸鍍；

將所述電子束蒸發鍍膜儀進行選裝保持與所述柱狀陣列模板中的柱狀結構方位角為135度，傾斜角為60度使用金屬材料進行第二次蒸鍍，得到所述三維手性結構。

8.根據權利要求5所述的三維手性結構的制備方法，其特征在于，所述使用電子束蒸發鍍膜儀在所述柱狀陣列模板中的柱狀結構上蒸鍍兩次金屬材料，得到帶有金屬結構的三維手性結構的步驟之后還包括：

使用所述電子束蒸發鍍膜儀在所述三維手性結構的柱體的側面使用所述金屬材料進行蒸鍍。

9.根據權利要求5所述的三維手性結構的制備方法，其特征在于，當所述三維手性結構中相鄰的兩個柱體結構高度不同時，所述方法還包括：

使用電子束蒸發鍍膜儀在所述柱狀陣列模板中的柱體上間隔一行蒸鍍兩次金屬材料，得到帶有金屬結構的三維手性結構；

調節所述電子束蒸發鍍膜儀的高度在所述柱狀陣列模板中的柱體上間隔一行蒸鍍兩次金屬材料，得到帶有金屬結構的三維手性結構。