[發明專利]鍍膜機觀察結構

在審

• 申請號: 202010211793.7
• 申請日: 2020-03-25
• 公開（公告）號: CN111235542A
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 蘇朋;楊國文;宋院鑫;張松濤;趙衛東
• 申請（專利權）人: 度亙激光技術(蘇州)有限公司
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52;C23C14/56
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 付興奇

本申請公開了一種鍍膜機觀察結構，涉及鍍膜設備的技術領域。本申請的鍍膜機觀察結構包括鍍膜機本體、擋板、觀察窗、轉動玻璃和碎屑收集件，鍍膜機本體具有殼體以及設于殼體內的鍍膜腔，殼體上設有觀察通道，觀察通道具有第一開口端和與鍍膜腔相通的第二開口端；觀察窗連接于殼體上，且設于第一開口端處；擋板連接于殼體上，且設于第二開口端處；轉動玻璃能轉動地設于觀察通道內，且位于擋板和觀察窗之間；碎屑收集件設于觀察通道內，碎屑收集件具有收集槽，收集槽被配置成用于收集轉動玻璃上脫離的碎屑。故本申請能夠用于對鍍膜機的鍍膜腔內的情況進行觀察，使得鍍膜質量較佳。

技術領域

本申請涉及鍍膜設備的技術領域，具體而言，涉及一種鍍膜機觀察結構。

背景技術

真空鍍膜機是一種常用的鍍膜工藝設備，廣泛地用于半導體器件、金屬以及其他功能性材料的薄膜制備。實際過程中，為保證鍍膜質量，往往需要對鍍膜機的鍍膜腔內的情況經常進行觀察。

發明內容

本申請的目的在于提供一種鍍膜機觀察結構，其能夠用于對鍍膜機的鍍膜腔內的情況進行觀察，使得鍍膜質量較佳。

本申請的實施例是這樣實現的：

一種鍍膜機觀察結構包括鍍膜機本體、擋板、觀察窗、轉動玻璃和碎屑收集件，所述鍍膜機本體具有殼體以及設于殼體內的鍍膜腔，所述殼體上設有觀察通道，所述觀察通道具有第一開口端和與所述鍍膜腔相通的第二開口端；所述觀察窗連接于所述殼體上，且設于所述第一開口端處；所述擋板連接于所述殼體上，且設于所述第二開口端處；所述轉動玻璃能轉動地設于所述觀察通道內，且位于所述擋板和所述觀察窗之間；所述碎屑收集件設于所述觀察通道內，所述碎屑收集件具有收集槽，所述收集槽被配置成用于收集所述轉動玻璃上脫離的碎屑。

于一實施例中，所述碎屑收集件包括第一板、第二板和第三板，所述第二板與所述第一板間隔設置；所述第三板分別與所述第一板和第二板相連；其中，所述第一板、所述第二板與所述第三板形成所述收集槽，所述第一板和所述第二板分別位于所述轉動玻璃的兩側。

于一實施例中，所述第一板和所述第二板為直板，所述第三板為曲形板，所述收集槽為圓弧形。

于一實施例中，所述轉動玻璃的部分區域伸入所述收集槽內；其中，所述轉動玻璃的徑向截面面積的二分之一大于或者等于所述第一板沿寬度方向的截面面積；所述轉動玻璃的徑向截面面積的二分之一大于或者等于所述第二板沿寬度方向的截面面積。

于一實施例中，所述鍍膜機觀察結構包括轉動手柄，所述觀察窗上設有第一安裝孔，所述轉動手柄能轉動地穿設于所述第一安裝孔內，且所述轉動手柄的端部穿過所述第一安裝孔與所述轉動玻璃連接。

于一實施例中，所述轉動玻璃的部分區域伸入所述收集槽內；其中，所述轉動玻璃的徑向截面面積的二分之一大于所述第一板沿寬度方向的截面面積；所述轉動玻璃的徑向截面面積的二分之一小于所述第二板沿寬度方向的截面面積。

于一實施例中，所述擋板上設有第一孔，所述第二板上設有第三孔，所述第三孔的軸線與所述第一孔的軸線成重合設置。

于一實施例中，所述轉動玻璃設于所述收集槽內；其中，所述轉動玻璃的徑向截面面積小于或者等于所述第一板沿寬度方向的截面面積；所述轉動玻璃的徑向截面面積小于或者等于所述第二板沿寬度方向的截面面積。

于一實施例中，所述擋板上設有第一孔，所述第一板上設有第二孔，所述第二板上設有第三孔，所述第二孔的軸線、所述第三孔的軸線與所述第一孔的軸線成重合設置。

于一實施例中，所述鍍膜機觀察結構包括轉動手柄，所述觀察窗上設有第一安裝孔，所述轉動手柄能轉動地穿設于所述第一安裝孔內，所述第二板上設有第二安裝孔；所述轉動手柄的端部依次穿過所述第一安裝孔和所述第二安裝孔與所述轉動玻璃連接。