[發明專利]一種應用于單晶的定向加工方法有效
| 申請號： | 202010210307.X | 申請日： | 2020-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN111300192B | 公開（公告）日： | 2021-12-24 |
| 發明（設計）人： | 胡小波;王垚浩;徐現剛;徐南;于國建;陳秀芳;楊祥龍;彭燕;胡建云 | 申請（專利權）人： | 廣州南砂晶圓半導體技術有限公司 |
| 主分類號： | B24B7/22 | 分類號： | B24B7/22;B24B49/12;B24B41/06;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 511458 廣東省廣州市南*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 應用于 定向 加工 方法 | ||
1.一種應用于單晶的定向加工方法，其特征在于，所述方法包括：
在單晶的待加工表面，以所述單晶的中心點為原點，繪制相垂直的0°方位線和90°方位線；
采用X衍射定向技術，分別測量所述待加工表面在所述0°方位線和90°方位線處的偏角，得到0°方位線表面偏角和90°方位線表面偏角；
根據所述0°方位線表面偏角和90°方位線表面偏角，計算出所述待加工表面與衍射原子面之間的真實偏角以及所述真實偏角對應的方位線；
將所述單晶置于工件臺，其中，與所述待加工表面相對的表面與所述工件臺相貼合，所述真實偏角對應的方位線垂直于所述工件臺的水平轉軸設置；
控制所述工件臺繞所述水平轉軸旋轉所述真實偏角的角度后，將所述待加工面磨至水平其中，根據所述0°方位線表面偏角和沿90°方位線表面偏角，計算出所述待加工表面與衍射原子面之間的真實偏角以及所述真實偏角對應的方位線，包括：
將所述0°方位線表面偏角和90°方位線表面偏角代入公式Δ＝(Δ0×Δ0+Δ90×Δ90)1/2和φ＝tan-1(Δ90/Δ0)中，得到所述待加工表面與衍射原子面之間的真實偏角以及所述真實偏角對應的方位線；
其中，Δ0為0°方位線表面偏角，Δ90為90°方位線表面偏角，Δ為待加工表面與衍射原子面之間的真實偏角，φ為真實偏角對應的方位線。
2.根據權利要求1所述的定向加工方法，其特征在于，將所述待加工面磨至水平后，所述方法還包括：
將所述工件臺調回至水平面；
將所述單晶置于工件臺，其中，與所述待加工表面與所述工件臺相貼合；
將與所述待加工表面相對的表面磨至水平。
3.根據權利要求1所述的定向加工方法，其特征在于，所述單晶為SiC單晶。
4.根據權利要求3所述的定向加工方法，其特征在于，所述待加工表面為(0001)硅面或(000-1)碳面。
5.根據權利要求3所述的定向加工方法，其特征在于，將所述待加工面磨至水平時，所采用的磨料包括：金剛石和/或氮化硼。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于廣州南砂晶圓半導體技術有限公司，未經廣州南砂晶圓半導體技術有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010210307.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種鋼結構生產加工用連續鉆孔裝置
- 下一篇：一種基于人機工程學的霧霾防護口罩
