[發明專利]流體控制閥

在審

• 申請號: 202010199471.5
• 申請日: 2020-03-20
• 公開（公告）號: CN111720580A
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 土居義忠;沖田讓;新見洋二;上田宗史;藤原從道
• 申請（專利權）人: SMC株式會社
• 主分類號: F16K7/17
• 分類號: F16K7/17;F16K31/363;F16K37/00;F16K47/02
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 崔巍

一種流體控制閥(10)，在缸室(14)的活塞(18)的滑動方向的一側設有第一先導室(64)。在第一先導室(64)的內壁設有能夠供排流體的第一先導端口(84)的開口(86)。當活塞(18)處于開閥位置時，第一先導室(64)收容有流體，當活塞(18)向閉閥位置位移時，該流體經由開口(86)排出。活塞(18)和閥體(16)中的至少一方設有節流部(70)，在活塞(18)從閉閥位置開始向閉閥位置側位移后，該節流部在活塞(18)與閥體(16)之間形成節流流路(104)，該節流流路具有比開口(86)的面積小的流路截面積。

技術領域

本發明涉及一種使用操作用流體使閥芯相對于閥座離開或落座的流體控制閥。

背景技術

已知一種通過使用操作用流體使閥芯相對于設置在被控制流體的流路的閥座離開或落座，來控制流路內的被控制流體的流通的液體控制閥。例如，在要求被控制流體有高清凈度的半導體的制造等的用途中使用這種流體控制閥的情況下，重要的是避免粒子混入流路內。作為粒子的一例，可以列舉出由于閥芯在閥座落座時的沖擊而從閥芯、閥座等剝離的剝離片。

因此，為了避免產生上述剝離片等，例如，在日本專利第3701367號公報中，提出了能夠降低閥芯落座于閥座時的沖擊的流體控制閥。該流體控制閥具有設置有缸室與減振部件的閥體以及在缸室內滑動的活塞。活塞具有受壓面，通過在該受壓面施加與操作用流體等的壓力對應的工作壓力，所以活塞與閥芯一體地位移，使閥芯相對于閥座離開或落座。

設在閥體的減振部件與活塞抵接從而發揮緩沖功能。在如上所述使活塞位移而使閥芯接近閥座時，在閥芯落座于閥座之前活塞與減振部件抵接。并且，通過活塞使減振部件彈性變形并且進一步位移，從而使閥芯落座于閥座。這樣，活塞克服減振部件的彈力而位移，與之相對應地，使閥芯以較小的速度移動并落座于閥座。因此，例如，與不使減振部件介入而使活塞位移的情況相比能夠降低落座時的沖擊。其結果是，能夠抑制剝離片的產生等。

但是，如上所述，在活塞克服減振部件的彈力而位移的情況下，與減振部件的彈力對應地，使閥芯落座于閥座所需的工作壓力增大。與此相伴的，受壓面的面積也需要增大，因此使活塞、缸室等變大，進而有可能使流體控制閥大型化。

發明內容

本發明是為了解決上述問題而進行的，提供一種能夠抑制大型化并能夠降低閥芯落座于閥座時的沖擊的流體控制閥。

本發明的一個實施方式的流體控制閥具有：閥體，該閥體設有被控制流體的流路和缸室；活塞，該活塞受到工作壓力而在所述缸室內沿滑動方向滑動；以及閥芯，該閥芯通過與所述活塞一體地位移而相對于設置在所述流路的閥座離開或落座，從而對所述流路進行開閉，其中，在所述缸室的所述活塞的所述滑動方向的一側設有先導室，在所述先導室的內壁設有能夠向所述先導室供排流體的端口的開口，當所述活塞處于使所述閥芯從所述閥座離開的開閥位置時，所述先導室收容有所述流體，當所述活塞向使所述閥芯落座于所述閥座的閉閥位置位移時，所述先導室內的所述流體經由所述開口向所述端口排出，所述活塞和所述閥體中的至少一方設有節流部，在所述活塞開始從所述開閥位置向所述閉閥位置側位移后，該節流部在所述活塞與所述閥體之間形成節流流路，該節流流路具有比所述開口的面積小的流路截面積。在該流體控制閥中，能夠對活塞施加朝向閉閥位置側的閉閥側工作壓力和朝向開閥位置側的開閥側工作壓力。當對處于開閥位置的活塞施加比開閥側工作壓力大的閉閥側工作壓力時，先導室內的流體從開口向端口排出并且活塞向閉閥位置側位移。作為這里的流體，可以列舉出為了使活塞位移到開閥位置而向先導室供給的操作用流體，或者由于活塞處于開閥位置而充滿先導室的大氣等。此時，當從先端室向端口排出的流體的排出流量減小時，先導室的內壓上升，從而使與閉閥側工作壓力的大小相對應的活塞的位移速度變小。